晶圆退火 - 晶圆退火技术,学习,经验文章

芯片智造

3 天前

在半导体制造中什么是晶圆退火工艺？在半导体制造中，退火工艺占据了一席重要的地位。作为一项精确且复杂的热处理技术，退火不仅有助于优化材料的微观结构和物理性能，还对芯片的整体性能和可靠性起着决定性作用。从修复晶格缺陷到促进杂质的分布，从增强材料稳定性到改善电性能，退火工艺无处不在。