湿法刻蚀 - 湿法刻蚀技术,学习,经验文章

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14 小时前

在半导体制造中刻蚀工序如何选择？干法刻蚀与湿法刻蚀各有什么利弊？在半导体制造中，刻蚀工序是必不可少的环节。而刻蚀又可以分为干法刻蚀与湿法刻蚀，这两种技术各有优势，也各有一定的局限性，理解它们之间的差异是至关重要的。那么如何选择最佳的刻蚀方法呢？干法刻蚀与湿法刻蚀各有什么利弊？