传感器学习(day10)：MEMS传感器：揭秘智能时代的核心技术引言在信息技术飞速发展的今天，传感器作为连接物理世界与数字世界的桥梁，其重要性不言而喻。在众多传感器技术中，微机电系统（MEMS，Micro-ElectroMechanical System）传感器以其独特的微型化、智能化和低成本优势，已成为推动现代科技产业革新的核心驱动力之一。MEMS技术是一种在半导体制造技术基础上发展起来的前沿制造平台，它将微型机构、传感器、执行器以及信号处理电路等集成在一块微米级的芯片上，创造出能够感知和控制物理世界的微型智能系统。本文旨在对MEMS传感器进行全面而深入的梳理，从其