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5 天前
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半导体APC先进过程控制：R2R/FDC/VM三大模块原理与落地
在半导体制造中，工艺窗口越来越窄，器件尺寸不断缩小，对过程控制的要求越来越高。传统的SPC（统计过程控制）只能做到“事后发现”，而APC（Advanced Process Control，先进过程控制）则追求“事前预判、实时调整”。
我是有底线的