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mpcvd

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3 小时前
半导体·金刚石·mpcvd
CVD金刚石单晶片:从实验室到产业化的技术突破## MPCVD技术路线 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是目前制备高质量单晶金刚石的主流技术路线。相比传统高温高压(HPHT)法,MPCVD能够实现更高纯度和更大尺寸的单晶生长。 ## 光学级金刚石的应用 光学级CVD金刚石单晶片在红外检测、高功率激光窗口等领域具有不可替代的优势。其宽光谱透过能力(220nm至50μm以上),峰值透光率可达71%(镀膜后98%)。 ## 半导体散热前景 随着AI芯片和GaN功率器件的快速发展,金刚石以其超高导热率(约2000W/(m·K)),成为解决高功率密度散热
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