机器人运控 - 机器人运控技术,学习,经验文章

ARM+FPGA+AI工业主板定制专家

2 小时前

国产化RK3576+FPGA架构｜晶圆传输机器人高速定位+AI瑕疵检测一体化方案在半导体晶圆制造流程中，晶圆传输机器人承担着晶圆上下料、制程流转、精密对位输送的核心任务，是刻蚀、薄膜、检测、封装等工序的关键衔接装备。该类设备对控制系统有着双重严苛要求：一是微米级高速精准运动定位、无抖动平稳启停、高时序稳定性，杜绝晶圆磕碰、偏移、碎裂；二是实时在线外观检测能力，可快速识别晶圆崩边、划痕、污渍、缺角等不良缺陷，保障出厂良率。