三步刻蚀工艺 - 三步刻蚀工艺技术,学习,经验文章

费曼仪器Flexfilm

1 天前

台阶仪监控3D集成金属接触刻蚀：三步法实现稳定氮化层停止台阶仪监控3D集成金属接触刻蚀：三步法实现稳定氮化层停止三维集成靠垂直堆叠多层结构来提密度、提性能，但传统180nm逻辑工艺（L180）的接触刻蚀方案拿来刻三维集成的ONONO层间介质叠层行不通。主要毛病：停止余量不够、底部选择比掉、晶圆位置相关CD偏差大、叠层结构对不上。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。