同一片超薄膜，两次椭偏给出不同的 n 和厚度：先查参数耦合同一片超薄膜、同一台椭偏仪，换一组初值或换一个色散模型，就能得到另一套同样合理的厚度与折射率。产线用折射率判膜质、用厚度判工艺，只看其中一个数，分不清是镀膜漂了还是拟合没收敛。椭偏与反射法给同一片 10 nm 膜读出 9.7 nm 与 11.3 nm，差 1.6 nm，而椭偏的扩展不确定度是 1.7 nm、反射法 3.2 nm，差值落在两者之内，一项椭偏与反射法的对比研究据此判两法一致。费曼仪器（Flexfilm）全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学