晶圆微观检测

xutingjie16810 个月前
晶圆微观检测·五步相移算法
纳米量级晶圆表面微观缺陷检测技术调研背景：通常亚微米量级（0.1-1um），纳米量级（1-100nm），现在普遍实践认为仅仅用相机和高倍远心镜头 再用亚像素算法 能在亚微米量级别，但纳米量级别这一方案就不行，纳米量级主要是光学光路光干涉。