晶圆曝光

友思特 智能感知4 个月前
uv·uvled·紫外光源·晶圆曝光
友思特应用 | 硅片上的光影贴合：UV-LED曝光系统在晶圆边缘曝光中的高效应用晶圆边缘曝光是帮助减少晶圆涂布过程中多余的光刻胶对电子器件影响的重要步骤。友思特 ALE/1 和 ALE/3 UV-LED 高性能点光源，作为唯一可用于宽带晶圆边缘曝光的 i、h 和 g 线的 LED 解决方案，可高效实现WEE系统设计和曝光需求。