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光刻机
我是廖志伟
1 年前
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光刻机
光刻机是怎么做出来的
在制作半导体器件时,需要对硅片进行一系列的制造工艺,其中最为关键的就是光刻技术。光刻技术实际上就是把光通过掩模照射到硅片表面上,然后利用化学反应等方法来制造微细结构。光刻机的基本原理就是利用它内部的光学系统,将激光或者紫外光等辐射能量转换成电子能量,并对它进行加工处理,使之满足制作微细结构的要求。