微观特征轮廓尺寸测量:光学3D轮廓仪、共焦显微镜与台阶仪的应用

随着科技进步,显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量,其中包括光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)、共聚焦显微镜和台阶仪。有效评估材料表面的微观结构和形貌,从而指导生产过程、优化产品性能。

光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)

光学3D表面轮廓仪是一种利用白光干涉原理进行非接触式测量的高精度仪器。它通过分析反射光的干涉模式来重建表面的三维形貌。

非接触无损测量,超高纵向分辨率,测量从光滑到粗糙等各种精细器件表面。

测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);

几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。

光学3D表面轮廓仪广泛应用于对器件表面质量要求超高的光学加工、半导体制造与封装、超精密加工、3C产业链等,同时在航空航天、国防工业以及科学研究等领域也存在普遍使用。它能以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

共聚焦显微镜

共聚焦显微镜以共轭共焦技术为基础研制而成的用于样品表面3D微观形貌检测的精密光学仪器。非接触式无损检测方式,复杂结构的大角度形貌测量能力,优异的横向分辨率,低反射率表面的适应性强。

共聚焦显微镜广泛应用于对器件表面质量要求非常高的光伏太阳能、半导体封装、激光加工、光学膜材、3C产业链等高端制造业,同时在航空航天、国防工业以及科学研究等领域也存在普遍使用。

台阶仪

台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,主要用于台阶高、膜层厚度、粗糙度等微观形貌参数的测量。

台阶仪应用场景适应性,广泛用于半导体、太阳能光伏、光学加工、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求。

在实际应用中,选择合适的测量仪器需要综合考虑样品的性质、测量需求和精度要求。通过合理利用这些先进的测量技术,可以有效提升微观特征轮廓尺寸测量的准确性和可靠性,为科研和工业生产提供坚实的基础。

相关推荐
逐云者1237 小时前
3D Gaussian Splatting (3DGS) 从入门到精通:安装、训练与常见问题全解析
3d·问题·三维重建·高斯泼溅·编译运行
工业3D_大熊7 小时前
HOOPS SDK赋能PLM:打造全生命周期3D数据管理与协作能力
3d·3d web轻量化·3d模型格式转换·3d渲染·3d模型可视化·工业3d·3d模型渲染
小新11015 小时前
3d max 的快捷键
3d
zhongqu_3dnest16 小时前
VR全景园区:开启智慧园区新时代
3d·三维建模·3d楼盘
zhongqu_3dnest19 小时前
什么是3D楼盘?
3d·三维建模·房地产·房产营销·3d楼盘·线上看房
top_designer21 小时前
3D材质总监的“光影魔法”:用Substance Sampler AI,“擦除”照片中的光影
人工智能·3d·新媒体运营·aigc·游戏程序·材质·材质设计师
中科米堆21 小时前
中科米堆CASAIM手持式三维扫描仪金属铸件三维扫描测量方案
人工智能·3d·自动化·视觉检测
zhongqu_3dnest1 天前
众趣SDK重磅升级:空间物联IOT新视界,赋能实景三维场景深度应用
人工智能·物联网·计算机视觉·3d·点云处理·点云扫描
子燕若水1 天前
在Adobe Substance 3D Painter中,已经有基础图层,如何新建一个图层A,clone基础图层的纹理和内容到A图层
3d·adobe
哑巴语天雨2 天前
Cesium初探-CallbackProperty
开发语言·前端·javascript·3d