10 消息服务详情
10.1 本章定义实现加工管理概念所需的消息服务。这些消息已在第8.1节中初步介绍。
- 协议无关性：这些服务独立于所使用的消息协议，可映射至SECS-II（SEMI E5）或其他类似协议。
10.1.1 消息服务定义内容包括：
- 消息用途：定义需使用的消息类型；
- 参数性质：消息中包含的参数特性；
- 数据类型：参数的数据类型规范。
- 未定义内容 ：实际传输消息的内部结构（如参数顺序、数据结构表示方式）不在本章范围内。
10.1.2 下表中使用的服务消息表示法详见第5.3节约定。
10.2 服务列表
以下消息用于 主机（Host）与设备（Equipment） 之间的交互，以完成加工管理任务。
Table 4 Service List
| 消息名称（Message Name） | 类型（Type） | 描述（Description） |
|---|---|---|
| PRGetAllJobs | R | 获取所有未完成的作业及其状态列表。 |
| PRGetSpace | R | 获取当前资源上可创建的作业数量。 |
| PRJobAlert | N | 加工资源发送通知，告知作业状态（如准备中、加工中、加工完成或作业终止）。 |
| PRJobCommand | R | 对加工任务下达控制命令（如暂停、恢复、终止）。 |
| PRJobCreate | R | 监督者（服务使用方）请求执行一个加工任务。 |
| PRJobCreateEnh | R | 用户请求执行作业，并为其分配唯一作业标识符。 |
| PRJobDequeue | R | 从队列中移除（删除）一个或多个作业。 |
| PRJobDuplicateCreate | R | 创建一组相似的加工任务，用户为每个任务分配唯一标识符。 |
| PRJobEvent | N | 加工资源通知加工相关事件已发生（如状态变更、异常报警）。 |
| PRJobMultiCreate | R | 创建多个（可不同的）加工任务，用户为每个任务分配唯一标识符。 |
| PRJobSetRecipeVariable | R | 用户请求为配方变量参数设置新值（用于工艺调节）。 |
| PRJobSetStartMethod | R | 用户请求设置加工任务的启动方法（如自动/手动）。 |
| PRSetMtrlMethod | R | 请求服务使用特定方法处理物料顺序（如载具优先级）。 |
!tip\]注意 1. **类型（Type）含义** ： * **R（Request）**：请求类消息（需接收方响应）； * **N（Notification）**：通知类消息（单向上报，无需响应）。 2. **功能分类** ： * **任务管理** ：`PRJobCreate`、`PRJobDequeue`、`PRJobDuplicateCreate`； * **状态监控** ：`PRGetAllJobs`、`PRJobAlert`、`PRJobEvent`； * **参数控制** ：`PRJobSetRecipeVariable`、`PRJobSetStartMethod`。 3. **注意事项** ： * **PRJobDuplicateCreate**：用于批量创建相似任务（如同一载具内的多片晶圆处理）。
10.3 参数字典
Table 5 Parameter Dictionary
| 参数名称 (Parameter Name) | 定义 (Definition) | 形式/可能值 (Form: Possible Values) |
|---|---|---|
| CmdParameter | 支持命令类型的参数。 | 结构体 (Structure) : - CmdParmName（参数名称） - CmdParmValue（参数值） |
| CmdParmName | 参数名称。 | 文本 (Text) |
| CmdParmValue | 参数值。 | 因参数而异 (Varies per parameter) |
| ErrorCode | 错误代码（枚举值）。 | PRJobCreate错误 : - Parameters improperly specified（参数未正确指定） - Insufficient parameters specified（参数不足） - Unsupported option requested（不支持的选项） - Busy (no queue) or queue full（资源繁忙/队列已满） - Unavailable for process jobs（无法处理任务） PRJobCommand错误 : - Command invalid in current state（当前状态下命令无效） PRJobComplete错误 : - No material altered（未更改物料） |
| PRJobID | 加工任务的唯一标识符（通过ObjID属性访问）。 |
文本 (Text)，监督者需确保其在设备域内唯一。 |
| PRJobList | 加工任务ID及其状态的列表。 | 结构体列表 (List of Structure) : - PRJobID - PRJobState（状态模型值） |
| PRJobMilestone | 加工任务里程碑。 | 枚举值 (Enumerated) : - PR Job Setup（准备阶段） - PR Job Processing（加工中） - PR Job Processing Complete（加工完成） - PR Job Complete（任务完成） - PR Job Waiting for Start（等待启动） |
| PRJobSpace | 当前可创建的加工任务数量。 | 整数 (Integer) |
| PRMtlName | 被加工物料的文本标识符。 | 文本 (Text)，在加工代理域内唯一。 |
| PRMtlType | 物料类型标识符。 | 枚举值 (Enumerated)，由具体设备定义。 |
| PRMtrlOrder | 定义物料处理顺序的规则。 | 枚举值 (Enumerated) : - ARRIVAL（按到达顺序处理） - OPTIMIZE（优化吞吐量顺序） - LIST（按列表顺序） |
| PRPauseEvent | 暂停事件信息。 | 事件标识符列表 (List of EventID)，需符合SEMI E30或E53标准。 |
| PRProcessStart | 指示加工资源就绪时是否立即启动处理。 | 布尔值 (Boolean) : - TRUE（自动启动） - FALSE（手动启动） |
| PRRecipe | 加工任务配方的规范。 | 结构体 (Structure) : - PRRecipeMethod（配方方法） - RecID（配方ID） - Recipe Variable（配方变量列表） |
| PRRecipeMethod | 配方规范类型（是否应用调节方法）。 | 枚举值 (Enumerated) : - Recipe only（仅配方ID） - Recipe with VariableTuning（配方ID及变量调节） |
| RecID | 应用配方的唯一标识符。 | 文本 (Text)，在加工代理内唯一。 |
| Recipe Variable | 支持配方方法的变量。 | 结构体 (Structure) : - RecipeVarName（变量名称） - RecipeVarValue（变量值） |
| RecipeVarName | 配方变量名称。 | 文本 (Text)，依赖具体配方定义。 |
| RecipeVarValue | 配方变量值。 | 因变量类型而异。 |
| Timestamp | 事件日期和时间。 | 文本 (Text)，格式：yyyymmddhmmsscc（年月日时分秒厘秒） |
10.4 服务详情
以下表格定义了各服务的参数。部分参数包含额外细节，详见参数字典部分。
10.4.1 PRJobCreate（加工任务创建服务）
功能描述：监督者（服务使用方）请求加工资源执行一个加工任务。
表7 PRJobCreate 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobID | - | M（必需） | 处理代理（Processing Agent）分配的唯一标识符，用于后续所有加工任务通信。 |
| PRMtlType | M（必需） | - | - |
| (List of) PRMtlName | M（必需） | - | 物料名称列表。若为单晶圆设备，此列表为有序列表，指示加工任务应处理物料的顺序。 |
| PRRecipe | M（必需） | - | - |
| PRProcessStart | M（必需） | - | - |
| PRStatus | - | M（必需） | - |
注意
- 参数类型：
- M（Mandatory）：必需参数，消息中必须包含；
- (List of)：表示参数为列表形式（如多个物料名称）。
- 参数详解：
- PRMtlType ：如
WAFER（晶圆）、CARRIER（载具），需与物料物理类型一致；- PRMtlName ：物料唯一标识符（如晶圆ID
WFR_12345），列表顺序决定加工顺序（适用于单晶圆设备）；- PRProcessStart ：自动启动时，设备就绪后立即执行；手动启动需等待
PRJobStart指令。
- 工程约束：
- PRJobID 需全局唯一，推荐格式：
设备ID_时间戳_序号（如ETCH01_20231001120000_001）；- PRRecipe 需预先在设备中定义并通过SEMI E42验证。
表：PRRecipe 参数详情（PRRecipe Parameter Detail Section）
| 参数名称 (Parameter Name) | 标识 (M/C) | 备注 (Comment) |
|---|---|---|
| PRRecipeMethod | M（必填） | - |
| RecID | M（必填） | 加工任务配方标识符在处理代理（Processing Agent）域内应唯一。 |
| （List of）Recipe Variable | C（条件性必填） | 所需参数取决于所选配方方法（如 Recipe with VariableTuning 需提供变量列表）。 |
!tip\] 注意 1. **参数标识**： * **M (Mandatory)**：必需参数，消息中必须包含； * **C (Conditional)**：条件性必填，根据业务逻辑（如配方方法类型）决定是否需提供。 2. **参数详解**： * **PRRecipeMethod** ：配方方法类型（如"仅配方"或"配方+变量调节"），需与 `PRJobCreate` 服务中的定义一致； * **RecID** ：配方唯一标识符（如 `REC_ETCH_001`），需在处理代理（设备）域内唯一； * **Recipe Variable** ：配方变量列表（如 `GasFlow=50.0`、`Temperature=300`），仅当 `PRRecipeMethod` 为 `Recipe with VariableTuning` 时必填。
表：PRStatus 参数详情（PRStatus Parameter Detail Section）
| 参数名称 (Parameter Name) | 标识 (M/C) | 备注 (Comment) |
|---|---|---|
| PRAck | M（必填） | 加工确认标识，表示是否接受执行此任务（如 TRUE 表示接受，FALSE 表示拒绝）。 |
| (List of) Status | C（条件性必填） | 错误信息列表，仅当 PRAck 为 FALSE 时需提供（包含错误码及描述）。 |
注意
- 参数标识：
- M (Mandatory)：必需参数，消息中必须包含；
- C (Conditional) ：条件性必填，仅在
PRAck为FALSE时需提供。
- 参数详解：
- PRAck ：布尔值，用于确认加工资源是否接受任务（成功接受为
TRUE，拒绝为FALSE）；- Status ：结构体列表，包含错误码（
ErrorCode）及文本描述（ErrorMessage）
10.4.2 PRJobCreateEnh
表8 PRJobCreateEnh 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobID | M（必填） | M（必填） | 用户提供的任务ID：必须在加工资源已知的任务中唯一，否则资源将拒绝创建请求。 |
| PRMtlType | M（必填） | 物料类型：当无物料被加工时可为空值。 | |
| （List of）PRMtlName | M（必填） | 有序列表：将一组物料与加工条件（如工艺程序或配方）关联。 | |
| PRRecipe | M（必填） | 加工配方：此为结构体参数（包含配方方法与变量）。 | |
| PRProcessStart | M（必填） | 启动模式 ：AUTO（自动）或 USERSTART（用户启动）。 |
|
| PRPauseEvent | M（必填） | 暂停事件：若为空值，则不会自动暂停加工。 | |
| PRStatus | M（必填） | M（必填） | 状态标识：指示任务创建成功或失败（含错误码）。 |
10.4.3 PRJobDuplicateCreate（加工任务批量创建服务）
功能描述 ：
此服务用于创建多个相同的加工任务。每个任务在以下方面完全一致（即复制品）：
- 对必须相同的材料执行完全相同的加工流程；
- 所有任务应用完全相同的
PRRecipe（加工配方）和PRProcessStart（启动模式）参数值。
表9 PRJobDuplicateCreate 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| （列表）PRJobDupSpec | M（必填） | C（条件性必填） | 用户提供的任务ID与物料的列表 ：有序列表，定义批量创建的每个任务的唯一标识及关联物料。结构体： PRJobID-每个任务的唯一标识 PRMtlName-物料名称（如晶圆ID） |
| PRMtlType | M（必填） | 物料类型：所有任务处理的物料类型需一致（如均为晶圆）。 | |
| PRRecipe | M（必填） | 配方结构体：所有任务共用同一配方参数。 | |
| PRProcessStart | M（必填） | 启动模式 ：AUTO（自动）或 USERSTART（用户启动）。 |
|
| PRPauseEvent | M（必填） | 暂停事件：若为空值，则加工流程不会自动暂停。 | |
| （列表）PRJobID | C（条件性必填） | 任务ID列表 ：仅当 PRJobDupSpec 未返回时需提供。 |
|
| PRStatus | M（必填） | M（必填） | 状态标识：指示批量任务创建的整体成功或失败（含错误码）。 |
10.4.4 PRJobMultiCreate（多任务创建服务）
功能描述 ：
此服务用于创建多个独立加工任务 ，每个任务均可独立定义其参数（如配方、启动模式等）。与 PRJobDuplicateCreate 不同，此服务允许任务间存在差异，适用于需为不同物料或工艺需求定制化处理的场景。
服务参数表
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| （List of）PRJobSpec | M（必填） | C（条件性必填） | 用户提供的任务配置列表 ：每个任务可独立定义参数（如配方、物料、启动模式）。 结构体： - PRJobID：任务唯一标识符（需全局唯一）。- PRMtlName：物料名称（如晶圆ID）。- PRRecipe 配方结构体 ：每个任务可指定不同配方（如 RecipeID 和变量调节参数）- PRProcessStart 启动模式 ：AUTO（自动）或 USERSTART（用户启动）。 |
| PRMtlType | M（必填） | 物料类型：当无物料被加工时可为空值。 | |
| （List of）PRJobID | C（条件性必填） | 任务ID列表 ：仅当 PRJobSpec 未返回时需提供。 |
|
| PRStatus | M（必填） | M（必填） | 状态标识：指示多任务创建的整体结果（成功/失败），失败时附加错误码。 |
10.4.5 PRJobDequeue（任务出队服务）
功能描述 ：从队列中移除一个或多个加工任务。若任务不存在或处于 PRJOBACTIVE （活跃状态），则通过 PRStatus 返回无法移除的任务列表及原因。
表11 PRJobDequeue 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobList | M（必填） | - | 待移除任务的PRJobID列表。 |
| PRStatus | - | M（必填） | 状态标识：指示操作成功或失败。 |
注意
- 参数定义：
- PRJobList ：需移除的加工任务ID列表（如
["JOB_2305A_01", "JOB_2305A_02"]）；- PRStatus ：操作结果（布尔值
TRUE/FALSE），失败时附加错误详情（如ERR_JOB_ACTIVE）。
- 操作规则：
- 仅支持移除 PRJOBQUEUED（排队中）状态的任务；
- 若任务处于 PRJOBACTIVE （活跃状态）或不存在，返回
PRStatus=FALSE并附加错误码。
10.4.6 PRJobCommand（加工任务控制指令服务）
功能描述 ：
第8.1节中描述的所有加工任务控制指令均通过 PRJobCommand 服务进行通信。支持的指令包括：
- Abort （终止）、Stop （停止）、Cancel （取消）、Pause （暂停）、Resume （恢复）、Start Process（启动加工）。
规范要求：
- 参数定义：此标准未指定任何必需参数，具体参数由设备厂商或用户自定义；
- 强制支持指令 ：
Abort（终止）是唯一要求必须支持的指令。
表12 PRJobCommand 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobID | M（必填） | - | 加工任务ID：标识需执行命令的加工任务。 |
| PRCmdName | M（必填） | - | 命令名称 ：需执行的操作（如 Abort, Pause, Resume 等）。 |
| （List of）CmdParameter | C（条件性必填） | - | 命令参数列表：参数取决于所选命令（如暂停时的安全点规则、终止时的紧急等级等）。 |
| PRStatus | - | M（必填） | 状态标识：指示命令执行结果（成功/失败），失败时需附加错误码及描述。 |
注意
- 参数要求：
- PRJobID 和 PRCmdName 为必填参数，需明确指定目标任务及操作类型；
- CmdParameter 根据命令类型动态调整（如
Pause命令需指定安全点，Abort命令可附加紧急停机原因）。
- 命令类型：
- 强制支持 ：
Abort（终止）为必需支持的命令；- 可选支持 ：
Stop（停止）、Pause（暂停）、Resume（恢复）等可根据设备能力实现。
10.4.7 PRJobAlert（加工任务里程碑事件通知服务）
功能描述 ：
加工资源通过 PRJobAlert 服务通知监控系统（如MES）加工任务已达成关键里程碑事件。这些里程碑事件对任务控制与追踪至关重要，具体包括：
- PR Job Setup（任务准备阶段）
- PR Job Processing（加工执行阶段）
- PR Job Processing Complete（加工完成阶段）
- PR Job Complete（任务终结阶段）
- PR Job Waiting for Start（等待手动启动阶段，仅用于手动启动模式）。
表13 PRJobAlert 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|
| Timestamp | M（必填） | |
| PRJobID | M（必填） | 标识已达成里程碑的加工任务。 |
| PRJobMilestone | M（必填） | |
| PRStatus | M（必填） |
注意
- 参数定义：
- Timestamp ：事件时间戳，格式为
yyyymmddhmmsscc（年月日时分秒厘秒）；- PRJobID：触发里程碑事件的加工任务唯一标识符；
- PRJobMilestone ：已触发的里程碑事件（如
PR Job Setup、PR Job Processing）；- PRStatus ：任务当前状态（如
Active、Paused）。
10.4.8 PRJobEvent（加工任务信息事件通知服务）
功能描述 ：
与加工任务相关的信息性事件 （非必需支持）通过 PRJobEvent 服务进行通信。此类事件包括：
- Waiting for Material（等待物料）：任务因物料未就绪而暂停；
- Process Job State Change （加工任务状态变更）：任务状态迁移（如从
PRJOBACTIVE进入PAUSING）。
规范要求：
- 非强制支持：设备厂商或用户可选择是否实现此类事件通知；
- 适用场景：用于增强任务监控与日志追踪的灵活性。
表14 PRJobEvent 服务详情
| 参数 (Parameter) | 必填/指示 (Req/Ind) | 备注 (Comment) |
|---|---|---|
| PREventID | M（必填） | 事件唯一标识符，用于区分不同类型的事件（如状态变更、等待物料）。 |
| Timestamp | M（必填） | 事件时间戳 ，格式：yyyymmddhmmsscc（年月日时分秒厘秒）。 |
| PRJobID | M（必填） | 加工任务标识符 ，标识生成此事件的任务（如 JOB_2305A_01）。 |
| PREventData | C（条件性必填） | 事件相关数据，根据事件类型动态定义（如错误详情、状态变更原因等）。 |
10.4.9 PRJobSetRecipeVariable（配方变量参数设置服务）
功能描述 ：
此服务用于修改指定加工任务的配方变量参数列表。仅当任务处于以下状态时允许修改：
- QUEUED/POOLED（排队/池化状态）
- PAUSED（已暂停）
- WAITINGFORSTART（等待启动）
若任务处于其他状态（如 PROCESSING 或 ABORTING），此服务请求将失败。
规范要求：
- 实现可选性：设备厂商或用户可选择是否支持此服务；
- 动态调节场景：适用于需实时调整工艺参数（如刻蚀速率、温度）的Run-to-Run控制。
表15 PRJobSetRecipeVariable 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobID | M（必填） | - | 目标加工任务的唯一标识符。 |
| RecVariableList | M（必填） | - | 配方变量列表（List of RecipeVariable）：需设置的变量名称及新值。 |
| PRStatus | - | M（必填） | 操作结果 ： - 成功：返回 TRUE； - 失败：返回 FALSE，并附加无法设置的变量列表及原因。 |
注意
- 参数定义：
- PRJobID ：需修改配方的加工任务ID（如
JOB_2305A_01）；- RecVariableList ：结构体列表，每个元素包含
RecipeVarName（变量名）和RecipeVarValue（变量值）；
- 状态限制：
- 仅当任务处于 QUEUED （排队）、PAUSED （暂停）或 WAITINGFORSTART（等待启动）状态时允许修改变量；
10.4.10 PRJobSetStartMethod（任务启动方法设置服务）
功能描述 ：
此服务用于修改一个或多个加工任务的启动方法 （如从自动启动切换为手动启动）。仅当任务处于 QUEUED/POOLED（排队/池化状态）时允许修改，否则请求将失败。
规范要求：
- 实现可选性：设备厂商或用户可选择是否支持此服务；
- 适用场景：动态调整任务启动策略，适应生产计划变更需求。
表16 PRJobSetStartMethod 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobList | M（必填） | - | （列表）PRJobID：需修改启动方法的任务ID列表。 |
| PRProcessStart | M（必填） | - | 新启动模式 ：AUTO（自动）或 USERSTART（用户启动）。 |
| PRStatus | - | M（必填） | 状态标识：指示操作成功或失败（含错误详情）。 |
注意
- 状态约束：
- 仅当任务处于 QUEUED/POOLED（排队/池化状态）时可修改启动方法；
10.4.11 PRGetAllJobs（获取所有未完成任务列表服务）
功能描述 ：
此服务用于获取所有未完成加工任务 的列表，包括每个任务的唯一标识符（PRJobID）及其当前状态（PRJobState）。
表17 PRGetAllJobs 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobList | - | M（必填） |
10.4.12 PRGetSpace（获取可创建任务剩余容量服务）
功能描述 ：
此服务用于返回当前加工资源（Processing Resource）剩余可创建的加工任务数量。该数值反映设备队列或资源池的剩余容量，确保任务创建时不会超出资源限制。
表18 PRGetSpace 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRJobSpace | -（无请求参数） | M（必填，响应中） | - |
10.4.13 PRSetMtrlOrder（物料处理顺序策略设置服务）
功能描述 ：
此服务用于请求加工管理服务（Processing Management Service）采用指定的策略来定义物料处理顺序。
表19 PRSetMtrlOrder 服务详情
| 参数 (Parameter) | 请求/指示 (Req/Ind) | 响应/确认 (Rsp/Cnf) | 注释 (Comment) |
|---|---|---|---|
| PRMtrlOrder | M（必填） | M（必填） | 设置并返回服务将使用的策略值：用于定义物料处理顺序的规则（如按到达顺序、优化顺序或列表顺序）。 |
10.5 语义与语法的映射关系
表11 提供了第8.1节中定义的消息语义 与第10.4节中定义的语法之间的对应关系。
通过使用后缀 .req 、.rsp 和 .nfy 来明确消息流向：
.req：表示从服务用户 （Service User）到服务提供者 （Service Provider）的请求消息（Message Request）；.rsp：表示从服务提供者 到服务用户 的响应消息（Message Response）；.nfy：表示从服务提供者 到服务用户 的通知消息（Notification）。
10.6 基础要求
功能描述 ：
加工管理（Processing Management）定义了设备中实现基于作业的材料处理所需的标准服务。所支持的能力允许灵活管理覆盖多种工艺类型的自动化处理，但具体实现可能仅需这些能力的一个子集。
10.6.1 基础功能要求
所有处理代理（Processing Agent）的实现均需满足以下强制性要求（已在文档相应章节中描述并汇总如下）：
-
创建并执行单个加工任务直至完成，要求：
- 提供一种适当类型且唯一标识的物料（如晶圆ID）；
- 提供唯一配方标识符（
RecID），且配方可被找到并加载。
-
报告加工任务的里程碑事件：
- Setup（任务准备完成）、
- Processing（加工开始）、
- Processing Complete（加工完成）、
- Job Complete（任务最终完成）。
-
检测并报告任务结果 ：需明确指示物料是否被完整处理 、部分处理 或未处理。
-
支持随时终止任务（Abort）：立即停止加工活动并终止任务。
-
维护所需任务属性数据：确保表3中定义的任务属性（如状态、配方参数等）实时更新。
-
拒绝非法请求：
- 参数不完整或格式无效的请求；
- 设备不支持的能力请求（如未实现的指令或服务）。
10.6.1.1 扩展性与灵活性
仅满足基础要求可能无法满足部分设备的灵活性或性能需求。此时，需根据系统需求通过可选功能补充基础能力，例如：
- 动态配方变量调节（PRJobSetRecipeVariable）；
- 批量创建任务（PRJobMultiCreate）；
- 高级状态监控（PRJobEvent）。
10.6.2 可选能力
本标准定义或启用的可选能力包括：
- 加工资源预处理与后处理（Pre-/Post-Conditioning）；
- 停止（Stop）、暂停（Pause）与恢复（Resume）加工任务；
- 手动启动加工（Manual Process Start）；
- 任务队列管理与队列任务取消（Cancel on Queued Job）；
- 工艺参数动态调节（Process Tuning）；
- 物料组处理（Processing of Material Groups）；
- 多任务并发执行（Multiple Concurrent Process Jobs）；
- 单次访问中连续执行多个任务（Multiple Consecutive Jobs in a Single Visit）；
- 无物料加工任务（Process Job with No Material）；
- 等待物料及任务状态变更事件通知（Notification of Waiting for Material and State Changes）。
10.6.2.1 服务实现约束
服务设计包含拒绝不支持的服务及选项请求 的机制，以提升系统鲁棒性，并允许服务用户根据具体加工代理（Processing Agent）的能力调整请求。
10.6.2 可选能力
本标准定义或启用的可选能力包括：
- 加工资源预处理与后处理（Pre-/Post-Conditioning）；
- 停止（Stop）、暂停（Pause）与恢复（Resume）加工任务；
- 手动启动加工（Manual Process Start）；
- 任务队列管理与队列任务取消（Cancel on Queued Job）；
- 工艺参数动态调节（Process Tuning）；
- 物料组处理（Processing of Material Groups）；
- 多任务并发执行（Multiple Concurrent Process Jobs）；
- 单次访问中连续执行多个任务（Multiple Consecutive Jobs in a Single Visit）；
- 无物料加工任务（Process Job with No Material）；
- 等待物料及任务状态变更事件通知（Notification of Waiting for Material and State Changes）。
10.6.2.1 服务实现约束
服务设计包含拒绝不支持的服务及选项请求 的机制，以提升系统鲁棒性，并允许服务用户根据具体加工代理（Processing Agent）的能力调整请求。