电镀机的阳极是什么材质?

知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,点击加入)里的学员问:电镀的阳极有什么讲究?什么是可溶性阳极和非可溶性阳极?

什么是可溶性阳极与非可溶性阳极?

可溶性阳极

阳极本身就是被电镀的金属材料 ,在电镀过程中会发生氧化反应而溶解 ,为电解液持续补充金属离子

电流通过后:

阴极(晶圆)发生金属离子还原 → 金属沉积

阳极发生金属氧化反应 → 金属原子进入电解液成为离子

不可溶性阳极

阳极采用不参与电化学反应的惰性材料 ,仅起导电作用。金属离子完全来自电镀液 中预添加的金属盐。

工作原理

阴极:金属离子还原沉积

阳极:水或其他离子发生氧化(如放出氧气),阳极不溶解

阳极的材质有哪些?

可溶性阳极:

电镀类型 常用阳极材质
铜电镀 磷铜阳极(Cu-P) ,含0.04%~0.08%磷,可防止阳极泥生成,提高稳定性
镍电镀 电解镍板或球状镍 (高纯度Ni)
金电镀 金板或金丝 ,较少使用,成本高
锡电镀 锡条或Sn合金

不可溶性阳极:

材料常见选择 适用场景
铂涂层钛网(Pt/Ti) 贵金属电镀(如金、铑)
铱钽涂层钛(Ir-Ta/Ti) 稳定性高,适用于酸性镀液
石墨 镍、锌等电镀中有时也会使用,成本低
不锈钢 某些实验室电镀工艺或特殊研究用途

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