Yaskawa XU-RCM2500T-4机器人手臂模块:Nikon光检系统的精密搬运手
这款XU-RCM2500T-4是安川电机为Nikon定制的机器人手臂模块,专门用在Nikon OPTISTATION 7 200mm晶圆自动检测系统里,负责晶圆的取放和传输。安川的机器人以精度高、速度快出名,这款模块在半导体检测设备里扮演着关键角色。
五个核心特点:
1、专为晶圆检测设计,用在Nikon OPTISTATION 7系统,负责200mm晶圆自动化搬运。
2、带陶瓷手臂,陶瓷材质耐磨、重量轻、热膨胀小,适合精密搬运。
3、精度高,安川在运动控制这块是行家,重复定位精准,能把晶圆稳稳放到检测工位。
4、洁净设计,符合半导体检测设备的洁净要求,不污染晶圆表面。
5、安川原厂制造,可靠性有保障,技术成熟。
五个关键参数:
1、零件号XU-RCM2500T-4,安川为Nikon定制的专用型号。
2、用在Nikon OPTISTATION 7 200mm晶圆自动检测系统。
3、配备Nikon原厂陶瓷手臂。
4、主控部分零件号KAB11320/201A-4或201A-3。
5、二手市场多见,是从设备上拆下来的功能备件。
五个典型应用:
1、Nikon OPTISTATION 7晶圆检测系统中的晶圆搬运。
2、半导体检测设备的自动上下料。
3、200mm晶圆在检测工位间的传输和定位。
4、半导体设备维护中的备件更换。
5、晶圆检测产线的日常维保备件。
安川这款XU-RCM2500T-4,是Nikon晶圆检测系统里负责搬运的可靠角色。带着陶瓷手臂把晶圆稳稳当当来回运送,对于维护OPTISTATION 7的朋友来说,这款模块是核心备件之一。

