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芯片智造

4 小时前

椭偏仪—介质膜的首选方法当工艺进入先进制程，薄膜厚度降到几纳米甚至几埃（Å）级别时（例如先进逻辑芯片中极薄的 High-K 栅极介质层），传统的光谱反射法会完全失效，此时唯有椭偏仪能够胜任。