关断泄漏 - 关断泄漏技术,学习,经验文章

鸿芯微控科技

2 小时前

MFC关断后还有流量怎么办？零流量、阀门泄漏、压差与Python分析MFC是质量流量控制器，英文为 Mass Flow Controller。MFC关断后仍显示流量，不能直接判定阀门泄漏，常见原因还包括传感器零点偏置、下游容积压力平衡、上游压差未消失、管路残余气体和通讯显示滞后。