流量不足排查 - 流量不足排查技术,学习,经验文章

鸿芯微控科技

1 小时前

MFC设定流量达不到怎么办？上游供气能力、压差与管路阻力排查MFC设定流量达不到时，首先检查质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称 MFC）入口处在实际流量下的压力，而不是只看气源或调压器的静态设定值。常见原因是上游供气能力不足、调压器动态压降过大、过滤器或管路阻力过大、出口背压过高，或供气压力在取流量时发生波动。