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鸿芯微控科技

2 小时前

MFC温度补偿怎么验证？气体温度、密度变化与Python分析半导体气体流量场景中的 MFC 是质量流量控制器（Mass Flow Controller）。验证温度补偿，不能只把环境温度记录下来，而要同步记录气体温度、MFC显示或反馈流量、独立参考流量、入口和出口压力以及稳定时间，在多个温度点和多个设定流量点重复测试。