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水桶学习吧_

1 小时前

这个悬臂结构把应力降了64%关键词：MEMS | 可调谐VCSEL | COMSOL | 蝴蝶结悬臂 | 米塞斯应力一、研究背景你知道吗？可调谐VCSEL激光器在大范围调谐时，里面的MEMS悬臂固定端容易因应力集中而发生结构损坏。这篇来自长春理工大学的论文（红外与激光工程，2019年），就针对这个问题提出了一个很巧妙的解决方案——把悬臂固定端做成蝴蝶结状。跟等截面直臂相比，这种形状能大幅降低固定端的米塞斯应力，最大降幅达64%。如果你刚开始接触MEMS仿真，这篇的思路和方法非常值得拆一遍。