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表面形貌
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表面形貌
共聚焦显微镜如何实现表面形貌测量
产线上真正棘手的，常常是缺陷看得见、尺寸量不准。要问微纳结构的台阶高度、凹槽深度、轮廓测量怎么做，二维图像就答不上来。接触式探针能给数值，软质表面却怕划伤。非接触式测量更合适，3D共聚焦显微镜用得最多。
我是有底线的