半导体制造技术

幻象空间的十三楼2 个月前
半导体制造技术
半导体制造技术中的沉积和驱入（Deposition and drive-in）过程图5.34 硼掺杂工艺高温扩散炉系统示意图 图5.35 扩散掺杂工艺流程 图5.36 扩散工艺在超浅结深（USJ）上的应用