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半导体制造技术中的沉积和驱入（Deposition and drive-in）过程
幻象空间的十三楼
2024-09-22 10:26
来源：半导体制造技术导论------萧宏
沉积和驱入过程
图5.34 硼掺杂工艺高温扩散炉系统示意图
图5.35 扩散掺杂工艺流程
图5.36 扩散工艺在超浅结深（USJ）上的应用
半导体制造技术
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