半导体制造技术中的沉积和驱入（Deposition and drive-in）过程

幻象空间的十三楼2024-09-22 10:26

来源：半导体制造技术导论------萧宏

沉积和驱入过程



图5.34 硼掺杂工艺高温扩散炉系统示意图


图5.35 扩散掺杂工艺流程

图5.36 扩散工艺在超浅结深（USJ）上的应用

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