半导体行业芯片制作流程:
硅锭 → Wafer → 多个 Die → 封装 → 成品 IC
Wafer------正片晶圆
die ------芯片裸片(又叫"晶粒""芯粒")
指从一片晶圆(Wafer)上切割出来的、单个独立的集成电路单元、
chip------已封装的 die
QTY------Quantity(数量)
表示某一对象所包含的数量。通常是:晶圆数 / 玻璃数 / 片数 / 单位数
SLOT------槽
SLOTNO------槽的号
SLOTCOUNT------槽总个数
LOTGRADE------Lot Grade(批次等级 / 批次品质等级)
用来标识 一个 Lot(批次)当前的质量等级或处理等级
PTID = Process Tool ID(工艺设备 ID)
PTID 用来唯一标识一台"工艺设备 / 工艺工具"
CSTID------Cassette ID = 载具(FOUP / Cassette / Magazine)的唯一编号
Port = 载具端口 / 上下料口(Load Port / Unload Port)
用于放置、装卸晶圆或玻璃载具(FOUP / Cassette / Magazine)的物理位置
PPID = Process Program ID(工艺程序标识)
用于唯一标识一套可在设备上执行的工艺程序 / Recipe
CJM = Carrier Job Management(载具作业管理)
表示 载具作业管理、搬运指令管理
PJM = Process Job Manager / Process Job Management
用于 工艺设备(Equipment)内的 Job 控制,属于 GEM300(E40 PJM)的核心概念。
STS = Status(状态)
CMS = Carrier Management System(载具管理系统)
即 载具管理系统 / FOUP 管理系统
SECS中术语
MDLN = Model Name(设备型号名称)
CPV------Current Process Variable(当前工艺变量/当前控制变量)
CPV 表示设备当前正在使用或测量的工艺参数的实时值;类型通常为数值或状态类型(如温度、压力、功率、速度等)。