LAM V7668A-131000 是泛林半导体设备中采用的一块单板计算机，基于VMEbus总线架构，作为刻蚀机等半导体工艺设备的主控核心。
产品特点
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采用VMEbus标准总线，适配半导体设备的工业控制架构。
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基于Intel Core 2 Duo T7400处理器，主频2.167GHz。
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配备4个千兆以太网口，用于设备通信与数据交换。
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无风扇被动散热设计，避免颗粒物污染，适合洁净车间环境。
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支持热插拔维护，可在不彻底停机的情况下进行更换。
产品参数
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型号：V7668A-131000，对应泛林料号605-109114-00x系列。
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架构：6U VME64x单板计算机。
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内存：2GB SODIMM加板载内存，共4GB。
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存储：1GB或4GB工业级CompactFlash。
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扩展：1个PMC扩展插槽。
应用领域
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泛林半导体200mm及300mm等离子刻蚀机的主控计算机。
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执行工艺配方、实时传感器数据采集与闭环控制。
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管理射频电源与气体流量的调控逻辑。
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设备与上位控制系统间的通信与数据交换。
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二手设备翻新与老旧VME控制系统备件替换。
结尾
LAM V7668A-131000 单板计算机是泛林刻蚀设备控制系统的核心运算平台，凭借其VME总线架构和无风扇工业设计，在半导体产线设备运维和备件替换中具有重要地位
