LAM V7668A-131000 单板计算机

LAM V7668A-131000 是泛林半导体设备中采用的一块单板计算机，基于VMEbus总线架构，作为刻蚀机等半导体工艺设备的主控核心。

产品特点

1. 采用VMEbus标准总线，适配半导体设备的工业控制架构。

2. 基于Intel Core 2 Duo T7400处理器，主频2.167GHz。

3. 配备4个千兆以太网口，用于设备通信与数据交换。

4. 无风扇被动散热设计，避免颗粒物污染，适合洁净车间环境。

5. 支持热插拔维护，可在不彻底停机的情况下进行更换。

产品参数

1. 型号：V7668A-131000，对应泛林料号605-109114-00x系列。

2. 架构：6U VME64x单板计算机。

3. 内存：2GB SODIMM加板载内存，共4GB。

4. 存储：1GB或4GB工业级CompactFlash。

5. 扩展：1个PMC扩展插槽。

应用领域

1. 泛林半导体200mm及300mm等离子刻蚀机的主控计算机。

2. 执行工艺配方、实时传感器数据采集与闭环控制。

3. 管理射频电源与气体流量的调控逻辑。

4. 设备与上位控制系统间的通信与数据交换。

5. 二手设备翻新与老旧VME控制系统备件替换。

结尾

LAM V7668A-131000 单板计算机是泛林刻蚀设备控制系统的核心运算平台，凭借其VME总线架构和无风扇工业设计，在半导体产线设备运维和备件替换中具有重要地位