1、2.5英寸超大靶面,效率提升2.3 倍
随着 Chiplet、CoWoS、FOPLP 等先进封装向大尺寸发展,检测区域持续扩大。传统面阵相机视场覆盖不足,需要多次拍摄拼接,导致检测节拍下降并增加拼接误差,成为大尺寸封装AOI效率提升的关键限制。
Libra 27105采用28.08mm × 28.08mm超大感光区域,相比传统21MP(GSPRINT 4521)级大靶面工业相机,有效成像面积提升约 2.3倍,对比65MP (GMAX 3265 )机型提升约 57%;单次拍摄视野覆盖更大,检测效率显著提升。
2、112fps@105MP,实现100亿级像素/秒高通量采集
随着半导体检测向自动化、智能化发展,缺陷分类、自动复判和精密量测需要更大规模、更高质量的图像数据输入,对相机的数据吞吐能力提出更高要求。
Libra 27105搭载100G CoF高速接口,在1.05亿像素全分辨率下,帧率高达112fps,数据吞吐量达到11,760 MP/s。相较典型65MP或21MP级工业相机,数据吞吐能力提升约2.5倍,为AI检测、缺陷复检及精密量测提供更高效的数据采集能力。
3、2.74 μm高密度像元,提升精细结构和微缺陷解析力
随着先进封装中微米级线路、凸点和互连结构不断增加,检测系统不仅需要覆盖更大区域,也需要保持足够的空间采样能力。
Libra 27105采用2.74 μm小像元设计,在2.5英寸级超大靶面下实现105MP高分辨率成像,在兼顾大视场与高通量的同时,为精细结构和微小缺陷解析提供更高的空间采样能力。
从容应对先进封装、混合键合与 PLP 的光学量测
成像底图的扩展直接改变上游光学量测与下游 AI 复检的工作模式,Libra 27105主要应用包括:
PLP 面板级封装:大面板基板翘曲量测、RDL 精细结构量测、 Bump 检测;白光干涉(WLI)等光学量测方法要求在单次扫描中覆盖更大区域,并保持微米级空间采样。
混合键合(Hybrid Bonding):W2W 工艺 CMP 抛光后,Cu 焊盘表面须略低于 SiO₂ 表面 5--15 nm、表面粗糙度 < 0.5 nm,对晶圆表面平整度量测提出亚纳米级要求,需要采用 WLI 等光学量测方案,由高速大靶面相机对晶圆快速成像。