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简要说明
‐ Fluent化学反应模型进行ALD原子层气相沉积计算可调用Chemkin机理文件，相比于手工输入的简单反应机理，精度更高
‐ 本案例以三甲基铝ALD沉积为例，演示了如何使用Fluent调用Chemkin的化学反应机理文件进行耦合仿真的设置、计算及后处理过程
- 案例采用profile文件定义组分和进口流速随时间的变化，采用UDF函数统计沉积厚度随时间的累计变化
‐ 注意事项：文档基于2026R1版本编写，如需获取案例及反应机理文件，欢迎与摩尔芯创进一步沟通。
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内容详情
深圳市摩尔芯创科技有限公司（MoorEDA）是 ANSYS 中国区授权代理商，提供 Ansys Lumerical、Zemax、Speos、HFSS、Maxwell、Icepak、Mechanical、Fluent 等光学 / 电磁 / 结构 / 流体 EDA 与 CAE 仿真软件及工程服务。