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费曼仪器Flexfilm

3 小时前

先进刻蚀的量测主线：台阶仪 VS. AFM一片300 mm晶圆完成硅通孔（TSV）刻蚀后，刻深、片内均匀性、侧壁形貌都要给出读数。难在三个量的尺度差得太远：深度是宏观量，均匀性按百分比考核；侧壁粗糙度已在纳米量级，逐周期刻蚀量更是逼近原子尺度。量程拉得这么开，没有一种手段能从头管到尾。该综述，讲先进刻蚀里计量工具怎么分工、边界在哪。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。