半导体工艺与制造篇1 绪论

我们为什么要研究半导体?半导体凭什么可以成为电子信息行业的基础呢?

这就要说到半导体的一个重要特点:可以通过控制掺杂率来控制它的导电性

集成电路IC的生产

集成电路IC的生产包括:
准备晶圆基底材料 IC制造 IC设计 封测

IC生产的评价体系

评价一个IC的生产结果,通常采用三个角度:

1.性能preferance

2.可靠性reliable

3.良率yield

性能的重要参数使晶圆片上最小特征尺寸feature size,也称为临界尺寸CD,等于电子元器件的通道长度(channel length)

特征尺寸越小,则元件的执行速度越快

半导体行业的分类

半导体行业 集成电路 分立器件 光电器件 微机电系统MEMS

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