精度不够?光纤激光尺0.2ppm误差解锁微米级制造

当"精度焦虑"成为制造业的隐形门槛:

在半导体光刻中,1nm偏差可能导致整片晶圆报废;

在精密机床加工中,热变形让传统测量工具"失灵"......

"高精度、高稳定、抗干扰"------工业超精密制造的三大痛点,如何破局?

光纤激光尺基于激光干涉测量原理,具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,同时具有安装快捷,易于准直等特点,在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术等高科技领域广泛应用。

核心优势

1、高精度

分辨率10nm(可拓展),线性测量精度0.2ppm,稳频精度0.02ppm,满足纳米级测量需求。

环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响,确保数据长期稳定。

2、灵活配置

支持单轴、双轴、三轴输出,轻松实现多自由度测量。

可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头,适配复杂场景。

3、高稳定性与便捷性

激光光源与探头分离设计,3米铠装光纤连接,避免设备散热干扰,安装灵活。

体积小巧,适配狭小空间,降低阿贝误差风险。

4、广泛适用性

最大量程4米(可拓展),支持动态速度达2m/s,覆盖从静态检测到高速运动场景。

光纤激光尺比传统光栅精度高10倍,分辨率达原子层级(10nm=100个原子直径!) 光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证:用差分干涉(DI)探头对高精度纳米位移台进行闭环控制,在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。

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