Adobe illustrator、klayout绘制光刻图及其尺寸映射

Adobe illustrator

绘制光刻图

进行光刻

在1 um倍镜下光刻,1 pixel ≈ 0.12 um。

klayout

macro

调整mag取值使得kalyout中的尺寸与光刻下的尺寸匹配。

复制代码
if self.fac.currentText == "8X":  # Lens Parameter
        mag = 1
elif self.fac.currentText == "20X":
        mag = 2
elif self.fac.currentText == "50X":
        mag = 5
mag = 1 / mag

klayout中20 um,当mag取8.32时:

官方切图

选择相应的倍镜进行切图即可,光刻后测量结果证明符合:

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