划片用的UV膜是如何黏性变小的?

UV 划片胶带(UV Dicing Tape)在照射紫外线后黏性急剧下降(业内称为"解胶"),便于后续的倒装吸取芯片。

核心机制是

胶黏层发生光引发的交联聚合反应

,从柔软黏稠状态变成硬化收缩状态。

UV膜黏着剂的组成

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成分

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作用

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基础树脂(丙烯酸聚合物)

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提供基础黏性

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可光聚合单体/低聚物

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含碳碳双键(C=C),UV下可交联

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光引发剂(Photoinitiator)

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吸收UV光产生自由基,引发反应

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交联剂

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形成三维网络

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关键是黏着剂中含有

带不饱和双键(如丙烯酸酯基)的可聚合成分

和

光引发剂

,这是降黏的化学基础。

在未受紫外光照射时,这些高分子链段之间未发生化学键合,分子链处于相对自由、松散的缠结状态。胶层具有优异的

粘弹性

,能够充分润湿(Wetting)并浸入晶圆表面的微观粗糙形貌中,形成极大的实际接触面积,从而提供高达几十牛顿/百毫米(N/100mm)的极高初粘力。

光引发的交联固化反应(化学变化)

当减薄或切割工序完成后,设备使用特定波长(通常为 365nm的 UVA 频段)且具有一定能量密度的紫外线照射薄膜,依次发生如下反应:

1,光引发剂吸收UV光产生自由基

2,自由基引发单体交联聚合

3,黏着层硬化收缩,黏性消失

UV膜降黏前后的黏着力变化非常显著:

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状态

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黏着力(相对)

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UV照射前

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高黏(如几百 gf/25mm)

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UV照射后

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低黏(降到几十甚至几 gf/25mm)

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黏着力可以下降到原来的

1/10甚至1/50

,从"牢固固定"变成"轻轻一碰就脱"。

FIB+TEM+SEM打样代工:

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