12nm工艺下,6T-Turbo Cell的Filler到底该怎么插?

12nm工艺下,6T-Turbo Cell的Filler到底该怎么插?

背景: TSMC 12nm 6Track工艺引入了6T-Turbo cell,这类cell的Fin结构与普通6T cell不同,插filler时如果按老规矩来,很容易踩坑。

疑问①: 为什么12nm要引入6T-Turbo cell?用它到底图啥?

疑问②: 插filler时,6T-Turbo cell和普通cell的density要求一样吗?

疑问③: 如果density没控制好,后端签核(Signoff)时会出现哪些DRC问题?

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