Novellus Systems 02-033134-00晶圆底座加热器

Novellus Systems 02-033134-00晶圆底座加热器是Novellus（现属泛林半导体）为其200mm晶圆沉积设备配套的加热底座，在CVD、ALD等工艺中负责晶圆的均匀加热与精确控温。

产品特点

1. 适配200mm晶圆制程，是薄膜沉积设备的标准温控组件

2. 集成加热与晶圆支撑于一体，结构紧凑

3. 采用耐腐蚀陶瓷材料，适应真空及反应气体环境

4. 内置多区加热与测温传感器，支持闭环温控调节

5. 具备边缘温度补偿能力，提升膜厚均匀性

产品参数

1. 部件号：02-033134-00

2. 晶圆尺寸：200mm

3. 适用设备：Novellus ALTUS等沉积系列

4. 核心功能：晶圆加热与支撑

5. 市场流通状态：新件及可用备件均有供应

应用领域

1. Novellus ALTUS系列CVD/ALD薄膜沉积工艺

2. PECVD、HDP-CVD等工艺腔体的晶圆加热

3. 200mm晶圆产线的薄膜生长与热处理工序

4. Novellus Concept、Vector等系列设备配套备件

5. 半导体设备维护中的加热底座更换与升级

总而言之，Novellus Systems 02-033134-00晶圆底座加热器 凭借多区温控与边缘补偿设计，在200mm晶圆薄膜沉积工艺中为温度均匀性与工艺重复性提供了可靠保障，是Novellus系列设备运行与维护中的重要备件。