Module Builder——Gem200之Alarm模块

GEM200 Alarm(报警管理)是SEMI E30标准定义的核心安全机制,用于在设备发生可能危及人员,硬件或晶圆的异常情况时,及时通知上位机(Host)。

与普通的状态事件不同,报警触发时设备通常会抑制相关动作以防止危险扩大。

核心通信机制

S5F1 Alarm Report Send

当设备检测到异常或异常恢复时,主动通过S5F1消息向Host上报报警状态变化。

  • **ALCD:**报警代码,标识状态是触发(SET=1)还是清除(CLEAR=0)。
  • **ALID:**报警唯一编号(Alarm ID),对应预设的报警列表。
  • **ALTX:**可选的ASCII文本描述,提供可读的故障详情。

S5F2 Alarm Report Acknowledge

Host收到S5F1后,必须回复S5F2消息进行确认,告知设备端已收到报警信息。

典型交互时序

1.异常触发:设备底层检测到故障(如温度过高、真空异常),立即触发内部保护逻辑并停止相关动作。

2.主动上报:设备构造S5F1报文(ALCD=1,ALID=xxx,ALTX="TEMP HIGH")发送给Host。

3.Host确认:Host解析报警内容并记录日志,回复S5F2确认;若需屏蔽该报警可下发S5F3。

**4.异常恢复:**故障解除后,设备发送S5F1(ALCD=0)通知Host报警已清除。

常见拒绝原因码

若命令无法执行,设备会在S2F42中返回非零的HCACK状态码:

  • **HCACK=1:**无效命令,设备未定义该RCMD。
  • **HCACK=2:**当前状态不允许执行(如设备处于Local模式)。
  • **HCACK=3:**参数错误,参数名不存在或数值非法。

Module Builder中的Alarm模块

Alarm 模块是设备自动化软件中用于定义和管理设备报警(Alarm)的核心配置区。在半导体制造等工业自动化场景中,当设备出现异常情况时,系统需要生成特定的报警信号并上报给上位机(Host)。该模块不仅用于设定报警的基本属性,还负责将报警的触发(Set)与恢复(Clear)动作与具体的设备事件(CEID)进行绑定,从而实现报警全生命周期的自动化监控与追溯。

Alarm 模块允许用户新增Alarm、对现有的Alarm进行删除和修改。需要注意的是,Alarm的ALID、Name、SetCEID、ClearCEID具有唯一性,不允许重复。

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