MOS器件——ESD测试

1.ESD是啥

静电放电(ESD)是指由于静电积累而产生的电荷突然释放现象。ESD可能会导致器件损坏、性能下降甚至系统故障。

2.放电模型

放电模型有两种HBM、MM。

HBM( 人体放电模型 **):**模拟人体带电与电子元件接触放电。人体日常因摩擦带静电,接触元件时静电快速释放,可能损坏元件。

MM(机器放电模型) **:**模拟自动化设备运行积累静电后与电子元件接触放电,工厂设备运转时部件摩擦分离易带大量静电,接触元件即放电。

3.测试原理

先对等效电容充电至预定电压,然后将充电后的电容通过电阻连接到MOS的引脚G/S、G/D,观察MOS在放电过程中的性能变化,是否出现器件失效。

4.测试方法

选HBM或MM进入主界面,Freq频率、Count脉冲计数、 Polarity放电极性、Trigger触发方式Status‌实时状态、‌Start‌点击启动测试流程、Stop‌点击终止正在运行的测试、Progress‌测试进度等。进入Setting设置Setting---Voltage---+/- alternative、Setting---Trigger---Auto、 Setting---Freq---Count=1&Freq=3Hz(当‌Count设置为1‌,‌Freq设置为3Hz‌时,频率是每秒3次,次数设置为1次,一次放电占用大约‌1/3秒‌的时间)。逐步加大预定电压,万用表测试MOS是否短路,若短路则器件静电击穿,同步记录电压数据,得到ESD电压的临界区间。测试前需要短接消除掉残余电荷。

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