半导体Fab GEM300_E87 全功能解析

E87主要负责Carrier和loadport 的远程控制以及状态上报，包括料盒的绑定，预留，验证，Dock、Mapping 等功能。支持EAP异常重启后可同步机台数据，保障全流程的无人化。

1. 支持CarrierHold，ClampControl以及BypassCarrierID等功能
2. 支持远程获取和设置料盒对象所有SEMI E87标准数据，包括ObjID 、LocationID 、CarrierIDStatus 、 CarrierAccessingStatus 、ContentMap SlotMap 、SlotMapStatus、 SubstrateCount、 Usage 等
3. 支持远程创建（S14F9）和删除料盒(S14F11)
4. 支持获取E87 远程服务列表(S14F25)和参数（S14F27）,并支持远程调用所有服务

5.支持天车系统、支持Loadport预留、取消预留、关联、通知 、预绑定料盒、ID和Map验证、变更访问状态等操作

6.支持E87 标准定义的8种标准流程

E87指令服务列表如下：