合洁科技:晶圆洁净车间的净化空调系统和一般空调系统有何区别

电子洁净车间的净化空调系统和一般空调系统之间存在显著差异,这些差异主要体现在空气处理过程、空气过滤要求、室内压力控制、气流组织、换气次数以及能耗方面。以下是具体的对比,随合洁科技电子净化工程公司一起来了解下吧!

一、空气处理过程

净化空调系统:通常需要先将空气处理到露点温度,然后进行再热升温、空气加湿处理,最后通过风机、管道输送至目标区域。这个过程确保了空气在恒温恒湿的状态下被输送到洁净车间。

一般空调系统:将空气处理到露点温度后,直接通过风机送风,通常不会控制空气在一个恒温恒湿的状态。

二、空气过滤要求

净化空调系统:必须设置三级或三级以上过滤器,包括初效、中效和高效过滤器。在某些洁净室中,还可能设有滤毒吸附过滤。高效过滤器通常设置在空调系统的末端,以确保空气的高洁净度。

一般空调系统:多采用一级或二级过滤,即初效过滤器,有时可能采用中效过滤器,但很少设置亚高效以上的过滤器。

三、室内压力控制

净化空调系统:对保持洁净室的压差具有明确规定。净化区与非净化区一般至少保持10Pa左右的压差,不同等级的净化区也有严格的压差要求。这需要净化空调采用一定的技术措施来控制净化区的压差。

一般空调系统:对室内压力没有明显要求。

四、气流组织

净化空调系统:为了保证达到所要求的洁净度,必须尽量限制和减少尘埃粒子的扩散飞扬。因此,净化空调系统多采用顶送下回、顶送地板回的送回风方式,以减少二次回流及旋涡,使尘埃粒子迅速排出室外。

一般空调系统:多采用低换风次数、高乱流度的气流组织方式,通过在室内形成较强的二次诱导气流或者涡旋,以达到对室内空气的温湿度控制。这种方式几乎不会考虑尘埃粒子的处理。

五、换气次数

净化空调系统:通常会根据不同的净化等级有严格的换气次数要求。例如,十万级洁净厂房多设计换气次数为15次/h,万级洁净厂房为25次/h,千级洁净厂房为50次/h。

一般空调系统:换气次数常在10次/h左右。

六、能耗

净化空调系统:由于存在严格的规范要求,如风量大、换气次数多等,导致净化空调系统的能耗通常较高。

一般空调系统:风量多采用经济合理的送风温差而确定,尽可能用小风量达到最大空调效果,因此能耗相对较低。

综上所述,电子洁净车间的净化空调系统和一般空调系统在多个方面存在显著差异。这些差异使得净化空调系统能够更好地满足电子洁净车间对空气洁净度和温湿度控制的高要求。

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