在PCB 和IC载板制造 过程中,铜箔表面粗糙度 和微盲孔轮廓 直接影响信号传输质量与线路可靠性。传统接触式测量易造成样品损伤,非接触光学方法已成为主流选择 。其中,光子湾 激光共聚焦显微镜 凭借复杂表面适应性 和真实3D成像能力 ,展现出显著优势。本文结合实际测试数据,对比分析激光共聚焦显微镜 与白光干涉仪 在PCB表面轮廓测量中的表现,帮助行业工程师优化选型。
PCB/载板表面粗糙度测量需求
PCB及IC载板生产前,铜箔需经过粗化处理以增强结合力。但粗化会增加表面粗糙度 ,进而影响导体损耗和信号传输性能。同时,盲埋孔技术广泛应用,对孔径 、孔深 等表面轮廓 参数的精确测量成为质量控制关键。
这些场景中,粗糙度测量 和孔深 评估尤为重要。微盲孔结构复杂,传统方法难以兼顾精度与无损要求。非接触式测量技术 因此成为首选,既能保护样品,又能提供高精度3D表面形貌 数据。
非接触式测量技术原理解析
白光干涉仪工作原理与成像方式

白光干涉仪利用干涉原理工作。光源发出的白光经分光后形成测量光束和参考光束,两束反射光汇聚产生干涉条纹。通过分析条纹变化,重建表面3D形貌 。该设备通常生成黑白图像 ,在超光滑表面表现出色,但对复杂结构适应性有限。
激光共聚焦显微镜工作原理与优势

激光共聚焦显微镜 采用白色LED光源点照明与点探测技术。激光经照明针孔聚焦于样品表面,探测针孔仅允许焦平面光通过,扫描系统快速成像。这种方式有效抑制离焦光干扰 ,支持彩色真实成像 。相比之下,它在光学测量 和分辨率 上更灵活,尤其适合多样材料和复杂轮廓。
性能差异详解
垂直/平面分辨率对比
- 白光干涉仪垂直分辨率可达 0.1nm ,平面分辨率约 0.3μm
- 激光共聚焦显微镜垂直分辨率 1nm ,平面分辨率0.1μm
白光干涉仪适合极平整样品,激光共聚焦在平面细节和线宽间距测量中更优。
陡峭表面与深孔测量能力
白光干涉仪在陡峭表面或深孔测量时,干涉信号易丢失,导致数据偏差。激光共聚焦显微镜凭借激光高能量和方向性,能更好捕捉倾斜反射光,特别适用于低反射率或深结构样品。
成像质量与视野范围

白光干涉仪视野在低倍下受限,且多为黑白图像。激光共聚焦显微镜视野范围更大,支持物镜自动匹配,并提供彩色图像,便于直观判断不同区域轮廓。在微盲孔3D形貌 测量中,白光干涉仪常出现失真,而激光共聚焦能还原更真实孔型。
实验数据对比与分析
标块 Ra 测量对比

Ra=0.098 μm 标块重复 10 次测量:
- 白光干涉仪平均 0.0966 μm ,标准差 0.00679 μm
- 激光共聚焦显微镜平均0.0999 μm ,标准差 0.00666 μm
结论:两者重复性均佳,白光干涉仪在 测试标块 Ra 时,较激光共聚焦显微镜测试的数据偏小。
铜箔粗糙度测量对比

3# 试样 Ra:
- 白光干涉仪 0.2411 μm
- 激光共聚焦显微镜0.2812 μm
4# 铜箔粗化后试样 Ra:
- 白光干涉仪 0.6714 μm
- 激光共聚焦显微镜0.7691 μm
说明:白光干涉的 3D 图已经失真,不能反映真实孔型, 而激光共聚焦显微镜的 3D 图则较为真实。
微盲孔孔深测量对比
5# 微盲孔孔径 25 μm ±5 μm
- 测量结果均在公差范围内
- 白光干涉仪 3D 图形失真
- 激光共聚焦显微镜 3D 图真实还原孔型
说明:复杂微结构测量推荐激光共聚焦显微镜
PCB/IC 载板行业表面轮廓测量 的核心问题是如何兼顾精度与形貌真实性。白光干涉仪在超平整表面和微小起伏测量中优势明显,但在微盲孔、陡峭或低反射表面时容易失真。激光共聚焦显微镜则在平面细节 、视野范围 和真实 3D 形貌 呈现上更胜一筹。
光子湾3D共聚焦显微镜
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