32：Trace Data（S6F11）工艺追踪数据与FDC对接逻辑
一、本课学习目标
- 掌握S6F11/S6F12报文定义、收发规则与W位属性
- 理解Trace Data数据源为DV工艺变量，熟悉采样配置逻辑
- 理清机台→EAP→FDC完整数据转发链路
- 掌握Trace采集启停配置、采样周期设置规范
- 熟练排查FDC无曲线、丢数、参数异常等现场问题
二、S6F11/S6F12基础报文说明
S6F11 Trace Data Report
- 方向：Equipment→Host(EAP)，W=0异步主动上报
- 内容：绑定的DV变量编号、实时采集数值、采集时间戳
- 核心：FDC所有工艺曲线、实时参数的唯一来源报文
S6F12 Trace Data ACK
- EAP收到S6F11后的应答回执，机台用来确认数据投递成功
- 无S6F12应答，部分机型会缓存数据、重复补发报文
固定闭环：设备上送S6F11 → EAP回复S6F12
三、Trace Data基础概念
- 采集对象：DV（Data Variable）工艺变量（温度、压力、流量、功率、真空等模拟参数）
- 采样模式
- 周期采样：固定毫秒/秒间隔持续采集（腔体稳态工艺）
- 事件触发采样：对应CEID事件触发后短时采集（腔体开关、工艺步骤切换）
- 采集时机：机台RUN运行阶段持续上报，IDLE空闲默认停止Trace上报
四、EAP配置Trace标准步骤
- 查阅设备GEM手册，梳理需要采集的DV编号清单
- 在EAP或机台GEM配置内，将目标DV加入Trace订阅列表
- 设置采样周期（常用：100ms/500ms/1s，依据工艺精度需求）
- 配置触发条件：RUN启动自动开启Trace、结束自动关闭Trace
- 配置EAP转发规则：解析S6F11数据，标准化后推送FDC数据库
五、全链路数据流向
腔体传感器AI采集→PLC→机台控制器打包DV数据→S6F11→EAP解析→EAP转发→FDC存储绘图
- EAP职责：报文解析、格式转换、异常数据过滤、稳定转发，禁止篡改原始参数
六、Trace常见现场故障与排查
故障1：FDC完全无曲线、空白无数据
- 目标DV未添加至Trace订阅清单
- 机台RUN状态下S6F11报文未触发上报
- EAP与FDC接口断开、转发服务异常
- 机台GEM内Trace上报总开关关闭
故障2：曲线间断、频繁丢点
- 网络波动，S6F11报文丢包
- 采样周期过小，机台控制器负载过高溢出丢数据
- EAP缓存溢出，来不及解析丢弃报文
故障3：参数数值明显偏离实际
- DV量程换算系数EAP配置错误
- 机台侧原始采集硬件/传感器故障
- 点位绑定错误，A参数匹配B点位
故障4：RUN有数据，IDLE正常停机但残留零散数据
正常现象：工艺收尾阶段短时采样，非故障
七、Trace与R2R联动关系
- S6F11采集的全量工艺数据经由EAP推送FDC
- FDC汇总实测数据后送入R2R系统计算补偿参数
- 修正参数更新进Recipe，通过S7F3下发机台，完成批次闭环修正
八、本课核心总结
- S6F11=工艺实时数据上报，W=0；S6F12=EAP回执应答
- Trace只采集DV变量，SV/AV不参与Trace曲线采集
- 无FDC曲线排查顺序：DV订阅→S6F11报文→EAP转发→FDC服务
- RUN自动开采集、IDLE停采集是行业通用配置规范
- Trace是FDC、R2R两套系统的数据根基
九、课后小作业
- S6F11/S6F12收发方向与W位分别是什么？
- Trace采集的变量类型是SV/DV/AV哪一种？
- FDC无数据的三步排查方法？
- Trace数据最终供给哪两个系统使用？
- 简述Trace从传感器到FDC完整数据流