半导体设备

什么叫射频电源射频电源射频电源（RF Generator）入门：从 50Ω 功率传输到等离子体负载摘要：射频电源是半导体刻蚀、沉积设备的"能量心脏"。本文从工程视角出发，讲清它的系统构成、频率选择逻辑、50Ω 功率传输与反射功率、等离子体非线性负载与自动匹配、关键指标、控制接口与保护机制，并对应到 SEMI E113/E135/E136/E143 等一手标准，最后给出选型与调试的可落地建议。适合设备工程师、上位机/自动化工程师、以及想系统了解 RF 功率系统的读者。

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基于RK3588+FPGA+AI的储能电站边缘网关，实现电力数据采集与智能预警摘要：储能电站规模化并网后，传统电力边缘网关普遍存在采样实时性差、数据预处理能力弱、异常识别依赖阈值、云端时延高、断网失效等问题，无法满足新型储能电站高精度监测、故障提前预警、就地智能处置的运维需求。本文提出一套RK3588+FPGA+边缘AI国产化异构边缘网关方案，依托FPGA实现多路电力信号高速同步采集、硬件滤波与时序校准，借助RK3588旗舰级CPU+6TOPS NPU算力完成多协议解析、数据融合、本地AI智能研判，实现储能电站全量电力数据精准采集、电能质量分析、设备故障预警、异常事件就地告警与断网

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基于 ARM+FPGA 雕刻机控制系统的设计雕刻机由数控系统､雕刻路径计算系统和机械驱动系统三部分构成。雕刻路径计算系统一般借助 CAD (Computer Aided Design) 软件如 AutoCAD､UGS､Pro/Engineer 等，将设计好的雕刻产品转换成雕刻刀路路径并储存在数控文件中；数控系统则解析数控文件中的数据，通过分析和计算将相应数据转化成电机速度､脉冲和相应的延时，并将脉冲信号发送为机械驱动系统，通过对步进电机的控制完成最终的雕刻。

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RK3568+FPGA+CODESYS异构控制方案：赋能半导体设备与工业自动化升级摘要：在半导体精密制造、高端工业自动化场景中，设备对实时控制精度、高速IO响应、多轴同步、边缘智能算力、国产化适配的要求持续升级。传统单一PLC、工控机方案存在算力不足、硬实时性差、接口拓展受限等痛点。本文详解RK3568+FPGA+CODESYS异构融合控制方案，充分发挥RK3568边缘算力、FPGA硬件极速响应、CODESYS标准化软PLC控制的三重优势，深度适配半导体镀膜、刻蚀、分选设备及工业多轴运动控制、智能产线场景，同时适配国产化工业生态，是高性价比、可落地的新一代工业控制解决方案。

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【工控实战】RK3568/RK3588 8路隔离CAN/CANFD完整解决方案｜多路总线并行通信、车载/工控量产落地摘要：在工业自动化、特种车载、移动机器人、新能源设备控制场景中，单/双路CAN总线无法满足多驱动器、多传感器、多节点协同通信需求。RK3568、RK3588原生仅搭载2路CAN接口，原生资源无法覆盖高端多路总线控制项目。本文基于RK3568/RK3588双平台，采用「SOC原生CAN+SPI扩展CAN」架构，实现8路完全隔离CAN2.0/CANFD并行通信方案，完整拆解硬件拓扑、隔离电路设计、设备树适配、驱动移植、多总线并发调优与量产避坑，实测8路总线满载无冲突、波特率稳定、延迟可控，可直接用于工业控制、

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基于 RK3588+RK1820/28 算力卡的国产工控机，适用于机器视觉，机器人等边缘算力场景标签：# 瑞芯微 #RK3588 #RK1828 #边缘计算 #算力卡 #国产工控机 #大模型 #机器视觉

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Zynq MPSoC实现半导体真空腔体状态监测｜FPGA多传感器时序同步采集方案Zynq MPSoC实现半导体真空腔体状态监测｜FPGA多传感器时序同步采集方案标签：Zynq MPSoC、ARM+FPGA、半导体设备、真空腔体监测、多传感器同步采集、设备状态诊断、国产化工控

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