一、引言
全球半导体行业正面临通缩压力,市场需求增速放缓与制造成本上升的双重挤压,使降本增效成为企业生存的核心命题。3D 白光干涉仪作为半导体晶圆、精密光学元件检测的关键设备,传统依赖进口的模式导致采购与维护成本居高不下,加剧行业降本困局。新启航国产 3D 白光干涉仪凭借成本优势与技术实力,成为破解这一困境的 "逆行者"。
二、设备采购成本的直接压缩
2.1 国产化替代的价格优势
新启航 3D 白光干涉仪通过核心部件国产化(如自主研发的光学镜头、激光光源),摆脱对进口零部件的依赖,设备售价仅为同性能进口产品的 50%-60%。以 12 英寸晶圆检测设备为例,进口设备单台采购成本约 800 万元,而新启航同类设备价格控制在 400-480 万元,直接为企业节省近半采购支出,在通缩周期中显著降低固定资产投入压力。
2.2 规模化生产的成本摊薄
依托国内半导体产业对检测设备的旺盛需求,新启航实现规模化生产,通过标准化模组设计与自动化组装线,将单台设备生产成本降低 30%。同时,与国内供应商建立长期合作,批量采购原材料进一步摊薄成本,形成 "量产 - 降价 - 再放量" 的正向循环,为持续降价提供空间。
三、全生命周期成本的系统优化
3.1 维护与耗材成本的锐减
进口设备的维护依赖原厂技术支持,单次维护费用高达 10-20 万元,且备件更换周期长达 4-6 周。新启航建立本土化服务体系,维护工程师 4 小时内响应,单次维护成本降至 3-5 万元,核心备件库存充足,更换周期缩短至 1 周。自主研发的耐磨光学元件使用寿命延长至进口产品的 2 倍,耗材更换频率降低 50%,年耗材成本节省 60 万元 / 台。
3.2 效率提升带来的隐性降本
新启航设备搭载高速扫描与 AI 缺陷识别算法,检测效率较进口设备提升 30%,单台设备日均检测晶圆数量从 200 片增至 260 片。在通缩环境下,企业可通过设备效率提升减少设备采购数量,以 3 条产线为例,原本需 6 台进口设备,现仅需 4 台新启航设备即可满足产能需求,间接节省设备投入超千万元。
四、技术适配与良率提升的隐性降本
4.1 国产产线的定制化适配
针对国内半导体产线的工艺特点(如国产光刻胶、靶材的适配需求),新启航开发定制化检测模块,可精准识别国产材料特有的纳米级缺陷(如光刻胶残留、薄膜应力不均),帮助企业优化工艺参数,将晶圆良率提升 2%-3%。以 12 英寸晶圆(单片价值约 5000 元)的百万片级产能计算,年增收益超 1 亿元,间接破解降本压力。
4.2 数据协同的成本优化
设备内置 IoT 模块,可与企业 MES 系统实时交互检测数据,通过大数据分析预测潜在工艺风险,减少批量报废概率。某 14nm 制程晶圆厂应用后,批次不良率从 1.2% 降至 0.8%,单批次损失减少 40 万元,在通缩周期中为企业守住利润空间。
大视野 3D 白光干涉仪:纳米级测量全域解决方案
突破传统局限,定义测量新范式!大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术,一机解锁纳米级全场景测量,重新诠释精密测量的高效精密。

三大核心技术革新
1)智能操作革命:告别传统白光干涉仪复杂操作流程,一键智能聚焦扫描功能,轻松实现亚纳米精度测量,且重复性表现卓越,让精密测量触手可及。
2)超大视野 + 超高精度:搭载 0.6 倍镜头,拥有 15mm 单幅超大视野,结合 0.1nm 级测量精度,既能满足纳米级微观结构的精细检测,又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描,实现大视野与高精度的完美融合。
3)动态测量新维度:可集成多普勒激光测振系统,打破静态测量边界,实现 "动态" 3D 轮廓测量,为复杂工况下的测量需求提供全新解决方案。
实测验证硬核实力
1)硅片表面粗糙度检测:凭借优于 1nm 的超高分辨率,精准捕捉硅片表面微观起伏,实测粗糙度 Ra 值低至 0.7nm,为半导体制造品质把控提供可靠数据支撑。

(以上数据为新启航实测结果)
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高深宽比结构测量:面对深蚀刻工艺形成的深槽结构,展现强大测量能力,精准获取槽深、槽宽数据,解决行业测量难题。

分层膜厚无损检测:采用非接触、非破坏测量方式,对多层薄膜进行 3D 形貌重构,精准分析各层膜厚分布,为薄膜材料研究提供无损检测新方案。

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