知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:为什么在芯片互连中,介质的k值一直在降低?有哪些低k的介质?
互连介质的k值为什么在降低?

随着 CMOS 技术进入 45nm 及以下节点 ,互连 RC 延迟成为关键瓶颈,RC延迟见文章:
如上图,金属线与金属线之间夹着介质层,类似于一个电容,而寄生电容是RC延迟的主要来源。
而电容的表达式为:
C=ε*A/d
C:电容值
ε:介电常数
A:电极面积 (互连金属线的宽度)
d:金属线之间的距离
如表达式可以看出,介电常数越大,电容越大,RC延迟越严重。
芯片节点与k值的关系?
如上图,k值逐渐由小于2.7降到小于2.1,
各类低k介质有哪些?
