【非标自动化】2、认识元器件（激光位移传感器）

激光位移传感器

激光位移传感器在非标自动化设备中，主要用于非接触测量物体的位置、距离、高度、厚度、段差、翘曲和振动变化。

它会向被测物体表面发射激光，再根据反射光的位置、角度或传播时间，计算传感器到物体表面的距离。

与普通光电传感器相比：

光电传感器通常只判断"有没有物体"；
激光位移传感器能够测出物体距离传感器具体是多少毫米；
光电传感器多数输出开关量；
激光位移传感器多数输出连续变化的模拟量或数字测量值。

例如：

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普通光电传感器：
检测到工件 → ON
未检测到工件 → OFF

激光位移传感器：
当前距离 → 49.82 mm

一、激光位移传感器在设备中的作用

1. 测量物体高度

例如检测产品高度是否合格：

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标准高度：20.00 mm
允许范围：19.90～20.10 mm

激光位移传感器测得：

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19.96 mm → 合格
20.25 mm → 不合格

常用于：

零件高度检测；
PCB元器件高度检测；
电池极柱高度检测；
塑胶件尺寸检测；
装配到位检测。

2. 测量位置和距离

可以检测运动机构或工件距离传感器的位置。

例如：

滑台当前位置；
工件是否压到指定深度；
气缸实际伸出位置；
料盘高度；
升降平台位置；
工件表面距离。

需要注意，激光位移传感器通常测量的是：

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传感器到被测表面的距离

它不一定直接输出设备机械坐标。

如果要得到工件高度，通常需要通过基准值进行换算。

3. 测量段差

段差是两个表面之间的高度差。

例如：

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表面A：50.20 mm
表面B：49.85 mm

段差 = 50.20 - 49.85
     = 0.35 mm

常用于：

手机外壳装配段差；
电池盖板段差；
金属零件台阶高度；
PCB焊点高度；
玻璃与边框高度差；
工件装配平整度检测。

4. 测量厚度

如果只使用一个传感器，并且工件放在固定基准面上，可以通过距离变化计算厚度。

例如：

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没有工件时，传感器到平台距离：100 mm
放入工件后，传感器到工件表面距离：92 mm

工件厚度 = 100 - 92
         = 8 mm

如果工件上下位置会变化，可以使用上下两个激光位移传感器对射测量。

例如：

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上方传感器测量值：A
下方传感器测量值：B
两个传感器固定间距：L

工件厚度 = L - A - B

这样可以减少工件整体上下浮动对厚度测量的影响。

5. 检测平面度和翘曲

通过移动激光位移传感器或移动工件，在多个位置采集高度。

例如测量一个平面上的多个点：

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点1：10.02 mm
点2：10.05 mm
点3：9.98 mm
点4：10.01 mm

最大值与最小值之差：

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平面高度差 = 10.05 - 9.98
           = 0.07 mm

可用于判断：

板材是否翘曲；
工件是否平整；
玻璃是否变形；
电池是否鼓包；
金属表面是否变形。

6. 检测振动和跳动

激光位移传感器响应速度足够快时，可以连续检测运动物体表面的位置变化。

例如：

转轴径向跳动；
圆盘端面跳动；
电机振动；
皮带上下波动；
薄膜抖动；
高频机械位移。

如果转动物体表面位置周期性变化，传感器输出也会周期性变化。

7. 检测装配是否到位

例如压装轴承时，激光位移传感器检测压头最终位置：

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正常压装位置：25.00 ± 0.10 mm

如果实际位置为：

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24.98 mm → 正常
24.50 mm → 可能未压到底
25.60 mm → 可能零件缺失或装配异常

激光位移检测只能反映位置结果，不能完全代替压力检测。

更可靠的压装设备通常同时检测：

位移；
压力；
压力---位移曲线。

二、激光位移传感器的输入和输出

1. 输入是什么

激光位移传感器的输入是被测物体表面的位置变化。

传感器会受到以下因素影响：

物体距离；
表面颜色；
表面反光程度；
表面粗糙度；
倾斜角度；
透明程度；
激光光斑位置；
物体运动速度。

2. 输出是什么

常见输出包括：

0～10V；
±5V；
4～20mA；
PNP开关量；
NPN开关量；
RS485；
RS232；
Ethernet；
EtherCAT；
PROFINET；
IO-Link；
厂家专用通信接口。

一台激光位移传感器可能同时具有：

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模拟量输出：输出实际位移值
开关量输出：输出合格或不合格
通信接口：读取测量值和参数

三、激光位移传感器的工作原理

常见激光位移测量原理主要包括：

激光三角测量法；
飞行时间法；
共焦测量法；
光谱共焦法；
干涉测量法。

非标自动化中最常见的是激光三角测量法。

1. 激光三角测量法

传感器向物体表面发射激光。

激光在物体表面形成一个光点，反射光通过镜头照射到感光元件上。

当物体远近发生变化时，反射光在感光元件上的位置也会发生变化。

内部控制器根据光点位置计算距离。

可以理解为：

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物体距离改变
    ↓
反射光角度改变
    ↓
光点在接收器上的位置改变
    ↓
计算出位移

特点

精度较高；
响应速度快；
适合近距离精密测量；
常见量程从几毫米到几百毫米；
对表面颜色和反光特性比较敏感；
测量范围越大，通常分辨率越低。

2. 飞行时间法

传感器发射激光并测量激光往返时间，根据光速计算距离。

适合：

较远距离；
米级距离测量；
大量程；
物流和位置检测。

它通常不像三角测量式那样适合微米级近距离精密测量。

3. 光谱共焦位移传感器

不同波长的光会在不同距离聚焦。

传感器根据被测表面反射回来的波长判断距离。

适合测量：

透明玻璃；
镜面材料；
高反光金属；
多层透明材料；
薄膜厚度。

其精度通常较高，但价格也更高。

四、检测距离、基准距离和测量范围

激光位移传感器经常会标注：

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基准距离：50 mm
测量范围：±10 mm

它表示：

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最近测量距离：40 mm
基准位置：50 mm
最远测量距离：60 mm

传感器通常在基准距离附近精度最好。

例如型号标识：

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50 ± 10 mm

不能简单理解为传感器只能测10mm，而是它以50mm为中心，前后各有10mm测量范围。

五、使用电压和电流

1. 常见供电电压

工业激光位移传感器常见供电：

DC 24V；
DC 12～24V；
DC 10～30V。

部分小型传感器可能使用：

DC 5V；
专用控制器供电。

选型时必须区分：

传感器头；
放大器；
控制器。

有些激光位移传感器头不能直接接24V，而是必须连接厂家配套控制器。

2. 消耗电流

常见消耗电流可能为：

50mA；
100mA；
200mA；
500mA。

带显示屏、通信接口或高速处理功能的控制器功耗会更高。

3. 开关量输出电流

PNP或NPN输出常见允许电流：

50mA；
100mA；
200mA。

通常只适合连接PLC输入点，不适合直接驱动：

电磁阀；
接触器；
电机；
蜂鸣器；
大功率指示灯。

如需驱动负载，应通过PLC输出或中间继电器。

六、激光位移传感器与PLC连接

1. PNP开关量输出

典型接线：

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棕线：DC 24V
蓝线：DC 0V
黑线：PNP输出，接PLC数字量输入
PLC输入公共端：接DC 0V

传感器输出ON时，黑线输出接近24V。

可用于输出：

测量值合格；
测量值过高；
测量值过低；
传感器报警；
测量稳定完成。

2. NPN开关量输出

典型接线：

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棕线：DC 24V
蓝线：DC 0V
黑线：NPN输出，接PLC数字量输入
PLC输入公共端：接DC 24V

输出ON时，黑线被拉向0V。

3. 4～20mA接PLC

传感器模拟量输出接PLC模拟量电流输入模块。

例如传感器量程为40～60mm，对应4～20mA：

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40 mm → 4 mA
50 mm → 12 mA
60 mm → 20 mA

换算公式：

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距离 = 距离下限
     +（当前电流 - 4mA）÷16mA
     ×（距离上限 - 距离下限）

例如测得电流为12mA：

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距离 = 40 +（12 - 4）÷16 × 20
     = 50 mm

4. 0～10V接PLC

例如量程40～60mm：

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0V → 40 mm
5V → 50 mm
10V → 60 mm

接线通常为：

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传感器24V：接电源正极
传感器0V：接电源负极
模拟输出：接PLC AI+
PLC AI-：接0V

PLC模拟量通道必须设置为电压模式。

5. RS485连接PLC

RS485通常用于读取实际测量值和传感器状态。

接线可能包括：

24V；
0V；
A；
B；
屏蔽。

PLC需要配置：

波特率；
站号；
校验位；
数据位；
停止位；
寄存器地址；
数据格式；
字节顺序。

部分传感器使用Modbus RTU，也有部分使用厂家私有协议。

6. Ethernet或现场总线连接

高端激光位移控制器可能支持：

TCP/IP；
EtherNet/IP；
PROFINET；
EtherCAT；
CC-Link；
Ethernet通信。

这种方式可以读取：

实时位移；
多通道数据；
波形；
峰值；
谷值；
判定结果；
传感器报警；
参数设置。

七、PNP、NPN、源型和漏型

激光位移传感器是否需要讨论PNP和NPN，要看它是否具有开关量输出。

需要讨论PNP/NPN的信号

HIGH输出；
LOW输出；
GO输出；
报警输出；
测量完成输出；
触发输入对应的数字接口。

不需要讨论PNP/NPN的信号

4～20mA；
0～10V；
RS485；
Ethernet；
EtherCAT；
模拟电压输出。

PNP输出

传感器动作后向PLC输入点提供正电压。

PLC输入公共端通常接0V。

NPN输出

传感器动作后把PLC输入点拉向0V。

PLC输入公共端通常接24V。

八、激光位移传感器的输出类型

1. 模拟量输出

用于连续输出位移值。

常见：

0～10V；
±5V；
1～5V；
4～20mA。

优点：

接线简单；
PLC读取方便；
实时性较好。

缺点：

容易受模拟量误差影响；
存在分辨率损失；
长距离传输时电压信号抗干扰较差；
PLC模拟量模块精度会影响最终结果。

2. 开关量输出

传感器内部可以设置上下限。

例如：

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小于49.90 mm → LOW
49.90～50.10 mm → GO
大于50.10 mm → HIGH

对应输出可能包括：

LOW；
GO；
HIGH。

PLC直接读取判定结果，不需要自己换算。

3. 数字通信输出

数字通信可以直接读取传感器内部计算后的数值。

与模拟量相比：

不需要经过电压、电流和PLC模拟量换算；
数值精度通常保留得更完整；
可以读取更多状态；
通信程序更复杂；
通信故障需要单独处理。

九、重要选型参数

1. 基准距离

基准距离决定传感器安装后，正常被测表面距离传感器大约多远。

例如：

10mm；
20mm；
50mm；
100mm；
200mm；
500mm。

机械结构设计时必须提前预留安装距离。

2. 测量范围

常见：

±1mm；
±5mm；
±10mm；
±20mm；
0～100mm；
100～500mm。

应覆盖工件的最大位置变化以及机械误差。

量程不能选得太小，否则工件稍微偏移就会超量程。

量程也不宜选得过大，因为通常：

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量程越大，分辨率和精度越低

3. 重复精度

重复精度表示同一个物体放在同一个位置，反复测量时结果的一致程度。

例如重复精度：

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0.5 μm
1 μm
5 μm
10 μm

重复精度对自动化检测很重要。

例如同一个标准块连续测量：

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10.002 mm
10.001 mm
10.003 mm
10.002 mm

说明重复性较好。

4. 线性精度

线性精度表示传感器在整个测量范围内，测量值与真实值之间的最大偏差。

常见表示：

±0.05% F.S.；
±0.1% F.S.；
±0.2% F.S.。

例如量程20mm，线性度±0.1%F.S.：

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最大线性误差约为：

20 mm × 0.1%
= 0.02 mm

重复精度高，不代表绝对精度一定高。

5. 分辨率

分辨率表示传感器能够识别的最小位移变化。

例如：

0.1μm；
1μm；
5μm；
10μm；
0.01mm。

分辨率越高，不代表整个系统最终一定能达到相同测量精度。

最终精度还受以下因素影响：

机械振动；
工件表面；
安装刚性；
温度漂移；
PLC采集精度；
标定方式；
环境光。

6. 采样频率

采样频率表示传感器每秒测量多少次。

常见：

100Hz；
1kHz；
5kHz；
10kHz；
20kHz；
100kHz。

静态高度检测不一定需要很高采样频率。

以下应用则需要较高频率：

高速流水线；
转轴跳动；
振动检测；
薄膜抖动；
高频动态位移。

7. 响应时间

响应时间决定物体位置变化后，输出多久更新。

响应时间可能为：

10ms；
1ms；
100μs；
10μs。

高速测量时，不仅要看采样频率，也要看：

滤波参数；
平均次数；
PLC扫描周期；
通信周期；
触发方式。

8. 激光光斑大小

激光光斑可能是：

小圆点；
大光斑；
线形光斑；
椭圆光斑。

小光斑适合：

小零件；
边缘；
狭窄位置；
微小特征。

线形光斑更适合：

粗糙表面；
有纹理表面；
金属加工面；
表面反射不均匀的物体。

9. 被测物颜色

不同颜色反射能力不同。

一般来说：

白色表面反射较强；
黑色表面反射较弱；
深色橡胶可能难测；
高亮金属容易产生镜面反射；
透明物体可能出现多重反射。

选型时应确认传感器是否适合：

黑色材料；
高反光金属；
透明玻璃；
半透明塑料；
粗糙表面。

10. 安装角度

激光位移传感器一般要求接近垂直测量物体表面。

如果表面倾斜过大：

反射光可能无法进入接收器；
测量值跳动；
无法测量；
精度下降。

不同型号允许的倾斜角度不同。

11. 温度特性

环境温度变化可能造成：

传感器内部结构热胀冷缩；
发光元件漂移；
安装支架变形；
被测工件尺寸变化。

参数中可能标注：

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温度特性：0.01% F.S./℃

高精度设备需要：

控制环境温度；
预热传感器；
做温度补偿；
使用低热膨胀支架。

12. 防护等级

常见：

IP40；
IP54；
IP65；
IP67。

在油污、水雾、粉尘环境中，应选择适合的防护等级。

镜头表面如果沾上：

灰尘；
水滴；
油膜；
金属粉；

会严重影响测量。

13. 激光等级

常见激光等级：

Class 1；
Class 2；
Class 3R。

设备设计时需要注意激光安全。

即使是可见红光，也不应长时间直视光束或让激光直接照射人眼。

必要时增加：

防护罩；
安全标识；
观察窗；
联锁结构；
激光关闭控制。

十、正常状态是什么

激光位移传感器正常时，一般应满足：

电源指示正常；
激光正常发射；
被测物在测量范围内；
测量值稳定；
不出现超量程报警；
输出随物体位置变化而变化；
通信数据持续更新；
判定输出与设定范围一致。

例如目标位置为50mm：

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物体向传感器靠近
    ↓
距离值减小

物体远离传感器
    ↓
距离值增大

但部分厂家可能将位移方向定义为相反，因此要以参数定义为准。

十一、常见故障现象

1. 一直显示超量程

可能原因：

物体距离太近；
物体距离太远；
安装位置错误；
传感器量程选错；
物体表面反射太弱；
激光没有照到物体；
传感器接收不到反射光；
透明物体造成透射；
镜头被污染。

2. 测量值跳动很大

可能原因：

设备振动；
支架刚性不足；
工件表面粗糙；
表面高反光；
表面颜色变化；
物体倾斜；
环境光干扰；
电气干扰；
滤波参数过小；
测量点落在边缘或孔洞位置。

3. 同一个工件每次测量结果不同

可能原因：

工件定位不一致；
工装存在间隙；
工件自身表面不一致；
测量位置发生变化；
传感器支架松动；
工件振动；
测量时机不同；
传感器尚未稳定；
使用移动平均造成响应延迟。

4. 黑色物体测量不稳定

黑色材料反射光弱。

可能表现为：

无法测量；
测量值跳动；
经常超量程；
响应速度下降。

解决方向：

选择适合黑色目标的型号；
调整曝光或灵敏度；
减小测量距离；
调整角度；
使用更强的反射模式；
更换其他测量原理。

5. 金属镜面测量异常

镜面金属会产生方向性很强的反射。

如果反射光偏离接收器，传感器可能完全收不到信号。

解决方向：

调整传感器倾斜方向；
使用适合镜面测量的型号；
使用光谱共焦传感器；
改变测量表面；
使用漫反射处理；
避免激光垂直反射回错误方向。

6. 透明玻璃测量不稳定

透明材料可能同时产生：

上表面反射；
下表面反射；
内部多次反射；
透射。

普通三角测量式激光位移传感器可能无法稳定区分测量面。

可以考虑：

透明体专用激光位移传感器；
光谱共焦传感器；
共焦位移传感器；
双峰识别功能。

7. 模拟量与传感器显示值不一致

可能原因：

PLC量程设置错误；
0～10V和4～20mA模式选错；
模拟量换算公式错误；
输出零点设置错误；
输出方向设置相反；
PLC模拟量分辨率不足；
信号线受干扰；
AI公共端接线错误。

十二、使用万用表定位故障

1. 检查供电

万用表调至直流电压档。

测量传感器电源正负极：

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正常应接近DC 24V

如果电压过低或没有电压，检查：

开关电源；
熔断器；
端子排；
电缆；
0V公共端；
接头。

2. 检查PNP输出

黑表笔接0V，红表笔测输出线。

输出ON时：

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电压应接近24V

输出OFF时：

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电压通常接近0V

3. 检查NPN输出

输出ON时，输出线会被拉向0V。

输出OFF时，受PLC输入回路影响，可能接近24V。

必须确保传感器和PLC公共端接法正确。

4. 检查0～10V模拟量

黑表笔接0V，红表笔接模拟量输出。

移动被测物体时，电压应连续变化。

例如：

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近端：0V
中间：5V
远端：10V

如果传感器显示值变化，但模拟电压不变，可能是：

模拟输出未启用；
输出线接错；
输出参数配置错误；
输出端损坏。

5. 检查4～20mA输出

万用表调至直流电流档，并串联进回路。

正常电流应在：

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4～20mA

如果为0mA，可能是：

回路断开；
传感器无供电；
电流输出未启用；
接线错误；
输出损坏。

十三、通过PLC定位故障

1. 查看数字量输入状态

观察传感器本体输出指示灯和PLC输入点是否同步。

如果传感器指示灯变化，PLC输入不变化，重点检查：

PNP/NPN是否匹配；
PLC输入公共端；
输入线；
PLC输入点；
地址是否正确。

2. 查看模拟量原始值

不要只看程序换算后的毫米值，还要看PLC模拟量原始值。

例如：

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传感器显示值变化
PLC原始值不变化

说明问题可能在：

接线；
模拟量输入模块；
输入通道设置；
输出模式；
信号公共端。

如果原始值变化，但换算结果错误，通常是程序换算问题。

3. 使用标准信号测试PLC模块

可以暂时断开传感器，使用：

0～10V信号源；
4～20mA信号发生器。

如果PLC读取正常，说明PLC模拟量模块和程序大概率正常。

故障更可能在：

激光位移传感器；
输出设置；
现场线路。

4. 查看传感器报警状态

通信型传感器通常可以读取：

光量不足；
光量过强；
超量程；
目标丢失；
传感器温度异常；
控制器故障；
通信故障。

不能只看最终位移值，也要看测量质量和报警状态。

5. 交叉替换法

将正常通道与异常通道交换。

如果故障跟着传感器走，可能是：

传感器本体；
传感器设置；
镜头污染；
被测物表面；
安装位置。

如果故障留在原位置，可能是：

线路；
PLC通道；
机械结构；
程序；
环境干扰。

十四、安装位置和机械结构要求

1. 安装支架必须有足够刚性

激光位移传感器可能需要检测微米级变化。

如果支架自身发生0.05mm振动，测量结果就会跟着变化。

因此不能简单使用：

过长的薄钢板；
容易弯曲的铝片；
单点悬臂结构；
松动的万向支架。

更适合采用：

厚壁支架；
短悬臂结构；
加强筋；
双点固定；
独立测量支架；
花岗岩或稳定基座。

2. 传感器和被测物要有共同基准

如果传感器安装在设备机架上，而工件安装平台独立振动，传感器会把两者相对振动当成位移变化。

高精度测量时，传感器支架与工件基准应尽量安装在同一稳定结构上。

3. 避免测量工件边缘

激光光斑如果落在：

工件边缘；
台阶交界；
孔洞；
缝隙；
圆弧边缘；

反射光可能同时来自多个高度，引起测量跳动。

测量点应尽量选择完整、稳定的表面。

4. 避免强振动源

传感器应尽量远离：

冲床；
振动盘；
高速电机；
气锤；
压装机构；
机械冲击位置。

必要时采用：

独立支架；
减振结构；
测量延时；
机械停止后再测量；
多次平均。

5. 保持镜头清洁

镜头前方不能长期积聚：

油雾；
水雾；
粉尘；
焊烟；
金属屑；
胶水。

可以增加：

防护玻璃；
正压吹气；
气幕；
防尘罩；
定期清洁结构。

但防护玻璃也可能造成反射和折射，必须确认是否影响测量。

6. 避免环境光直射

强烈阳光、频闪灯、高亮照明可能影响传感器接收。

可以采用：

遮光罩；
调整安装角度；
减少外部强光；
使用抗环境光能力更强的型号。

7. 预留调整结构

机械设计时建议预留：

前后距离调整；
左右调整；
高度调整；
角度微调；
锁紧机构。

因为实际安装时需要将被测表面调到传感器量程中心附近。

十五、为什么激光位移传感器型号很多

同样是激光位移传感器，型号差异可能来自：

基准距离；
测量范围；
重复精度；
线性精度；
分辨率；
采样频率；
响应时间；
光斑大小；
点光斑或线光斑；
红色激光或蓝色激光；
是否适合黑色物体；
是否适合高反光金属；
是否适合透明材料；
传感器头与控制器是否分离；
PNP还是NPN；
0～10V还是4～20mA；
是否支持EtherCAT；
是否支持多头同步；
防护等级；
电缆长度；
接头形式；
激光等级；
工作温度；
安装结构。

因此，选型时不能只说：

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需要一个精度很高的激光位移传感器

必须明确：

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测量对象是什么
测量距离是多少
变化范围是多少
允许误差是多少
表面是什么材质
工件是否运动
采样速度是多少
PLC使用什么接口

十六、激光位移传感器和接近传感器的区别

对比项	激光位移传感器	接近传感器
主要功能	测量具体距离	判断有没有物体
输出结果	连续数值	ON/OFF
精度	高	一般
输出方式	模拟量、通信、开关量	PNP、NPN
价格	较高	较低
调试难度	较高	较低
表面影响	较明显	相对较小
典型用途	高度、厚度、段差	到位、有无检测

如果只是判断工件是否到位，没有必要一定使用激光位移传感器。

如果需要知道工件到底偏差了多少，就需要位移传感器。

十七、激光位移传感器和激光测距传感器的区别

激光测距传感器通常用于：

米级距离；
货物位置；
堆垛高度；
行车距离；
物流定位。

激光位移传感器通常用于：

毫米级范围；
微米级变化；
高度检测；
厚度检测；
段差检测；
精密位置检测。

两者都测距离，但重点不同：

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激光测距传感器：
距离较远，精度相对较低

激光位移传感器：
距离较近，精度更高

十八、典型检测流程

例如检测零件高度：

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工件到位
    ↓
PLC收到到位信号
    ↓
等待工件稳定
    ↓
触发激光位移传感器测量
    ↓
读取位移值
    ↓
与上下限比较
    ↓
输出合格或不合格

程序中不应在工件还在高速移动或振动时立即取值。

常见处理方式：

工件定位；
延时100～500ms；
连续采集若干次；
去除最大值和最小值；
计算平均值；
进行合格判断。

十九、选型示例

设备需要检测金属零件高度，标准高度为20mm，允许误差±0.05mm，工件表面为加工铝件，PLC具有4～20mA模拟量模块。

可以考虑：

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类型：激光三角位移传感器
基准距离：50 mm左右
测量范围：±5 mm
重复精度：不高于5 μm
线性精度：优于±0.02 mm
采样频率：1 kHz以上
输出：4～20mA
辅助输出：PNP合格/不合格输出
供电：DC 24V
光斑：小光斑或线光斑
防护等级：IP65

机械安装要求：

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传感器安装在刚性支架上
被测表面位于量程中心
测量点避开边缘和刀纹明显区域
工件定位后再采集

PLC处理：

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读取模拟量
    ↓
换算实际距离
    ↓
减去基准距离
    ↓
得到工件高度或高度差
    ↓
与19.95～20.05 mm比较

二十、激光位移传感器最核心的理解

激光位移传感器不是直接知道"工件高度是多少"，它首先测得的是：

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传感器到工件表面的距离

工件高度、厚度、段差和平面度，通常都是基于这个距离值，再结合：

机械基准；
空载基准；
标准件标定；
多传感器结果；
PLC计算；

间接得到的。

因此，测量系统是否准确，不仅取决于传感器本身，还取决于：

机械结构是否稳定；
工件定位是否一致；
测量表面是否适合；
安装距离是否正确；
标定是否可靠；
PLC换算是否正确；
环境振动和温度是否受控。