XPS的测试误差-科学指南针

在做 X 射线光电子能谱(XPS)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS有了解,但是对于其原理还属于小白阶段,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

  • XPS检测信号来源于样品表面数纳米的深度;
  • XPS 检测信号来源于样品表面毫米级的区域范围,既包括你的纳米颗粒,也包括衬底的硅片,以及硅片上的杂质;
  • XPS对表面敏感,有可能表面有污染,比如某种离子没洗净等,就会对表面影响很大;

除了半定量精度的问题以外。XPS和EDS有以下两个问题需要注意。 1)XPS检测信号来源于样品表面数纳米的深度;SEM-EDS 信号来源于样品表面数百至微米级的深度,对于纳米粒子,可以认为这个深度已经包含整个颗粒。 2)XPS 检测信号来源于样品表面纳米级的区域范围,既包括你的纳米颗粒,也包括衬底的硅片,以及硅片上的杂质;SEM-EDS信号来源于样品表面微米甚至纳米尺度范围的信息,如果是点分析的话,可以认为信号主要来源于某一个纳米颗粒或其聚集体, 衬底的信号相对较弱,衬底上的杂质颗粒,甚至长得不够漂亮的颗粒,都会被有意无意地忽略掉。 XPS对表面敏感,有可能表面有污染,比如某种离子体洗净等,就会对表面影响很大, EDS对体相1微米左右以下的区域有信号反应,另外XPS是半定量没错,eds 根本就不能定量,就算做过标样标定都有5%以上的误差,没做过的话根本不能用于定量的,ICP 确实可以确认整体元素分布,另外你如果颗粒很小的话,强烈不建议用扫描能谱, 基底信号很强的,干扰很大,可以考虑透射能谱,会好很多。首先二者半定量,只能定性的看,其次XPS表面元素检测(几个nm)。最后为了知道准确结果,定量说明,你补个ICP,那个是最准确。

免责声明:部分文章整合自网络,因内容庞杂无法联系到全部作者,如有侵权,请联系删除,我们会在第一时间予以答复,万分感谢。

相关推荐
knight_20247 分钟前
嵌入式学习日志————对射式红外传感器计次
stm32·单片机·嵌入式硬件·学习
go546315846532 分钟前
基于分组规则的Excel数据分组优化系统设计与实现
人工智能·学习·生成对抗网络·数学建模·语音识别
●VON1 小时前
重生之我在暑假学习微服务第二天《MybatisPlus-下篇》
java·学习·微服务·架构·mybatis-plus
Yu_Lijing1 小时前
MySQL进阶学习与初阶复习第四天
数据库·学习·mysql
好学且牛逼的马2 小时前
学习随笔录
学习
我爱学嵌入式3 小时前
C语言第 9 天学习笔记:数组(二维数组与字符数组)
c语言·笔记·学习
im_AMBER7 小时前
学习日志19 python
python·学习
_Kayo_11 小时前
VUE2 学习笔记6 vue数据监测原理
vue.js·笔记·学习
chenchihwen11 小时前
大模型应用班-第2课 DeepSeek使用与提示词工程课程重点 学习ollama 安装 用deepseek-r1:1.5b 分析PDF 内容
人工智能·学习
超浪的晨12 小时前
Java UDP 通信详解:从基础到实战,彻底掌握无连接网络编程
java·开发语言·后端·学习·个人开发