光谱相机的探测器阵列

光谱相机的探测器阵列是其核心部件,负责将光信号转换为电信号,其性能直接影响成像质量。以下是主要技术要点:

一、探测器类型

CCD型探测器

特点:高量子效率、低噪声、线性响应好

适用:实验室高精度测量(如科研级光谱相机)

局限:读取速度较慢,易产生拖影

CMOS型探测器

特点:高速读取、低功耗、集成度高

适用:工业在线检测、无人机载系统

优势:支持ROI(感兴趣区域)读取,帧率可达1000fps以上

InGaAs探测器

工作波段:900-1700nm(短波红外)

应用:农业、矿物检测等近红外分析

制冷型:可降低暗电流,提高信噪比

二、阵列结构类型

面阵探测器

典型配置:1024×1024像素

工作模式:通过滤光片轮或LCTF实现多光谱采集

优势:空间分辨率高,适合静态场景

线阵探测器

典型配置:2048×1像素(推扫式)

工作模式:配合扫描运动获取空间信息

优势:光谱通道数多(可达数百个)

特殊结构阵列

四象限探测器:用于快速定位

楔形线列阵:用于傅里叶变换光谱仪

微透镜阵列:提高光能利用率

三、关键性能参数

量子效率

可见光波段:>80%(背照式CMOS)

近红外波段:60-70%(InGaAs)

动态范围

科学级:16bit(65536:1)

工业级:12bit(4096:1)

读出噪声

低温CCD:<3e-

全局快门CMOS:5-10e-

像元尺寸

大像元:5.5μm×5.5μm(高灵敏度)

小像元:1.67μm×1.67μm(高空间分辨率)

四、前沿技术发展

堆叠式背照技术

将光电二极管置于电路层上方

量子效率提升至95%以上

事件驱动型传感器

仅记录光强变化像素

降低数据量,提升帧率

量子点增强型

扩展光谱响应范围

实现紫外-可见-红外的宽谱探测

片上集成光谱仪

将滤光片直接集成在探测器表面

典型产品:IMEC的snapshot高光谱传感器

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