光谱相机的探测器阵列是其核心部件,负责将光信号转换为电信号,其性能直接影响成像质量。以下是主要技术要点:
一、探测器类型
CCD型探测器
特点:高量子效率、低噪声、线性响应好
适用:实验室高精度测量(如科研级光谱相机)
局限:读取速度较慢,易产生拖影

CMOS型探测器
特点:高速读取、低功耗、集成度高
适用:工业在线检测、无人机载系统
优势:支持ROI(感兴趣区域)读取,帧率可达1000fps以上
InGaAs探测器
工作波段:900-1700nm(短波红外)
应用:农业、矿物检测等近红外分析
制冷型:可降低暗电流,提高信噪比
二、阵列结构类型
面阵探测器
典型配置:1024×1024像素
工作模式:通过滤光片轮或LCTF实现多光谱采集
优势:空间分辨率高,适合静态场景
线阵探测器
典型配置:2048×1像素(推扫式)
工作模式:配合扫描运动获取空间信息
优势:光谱通道数多(可达数百个)
特殊结构阵列
四象限探测器:用于快速定位
楔形线列阵:用于傅里叶变换光谱仪
微透镜阵列:提高光能利用率
三、关键性能参数
量子效率
可见光波段:>80%(背照式CMOS)
近红外波段:60-70%(InGaAs)
动态范围
科学级:16bit(65536:1)
工业级:12bit(4096:1)
读出噪声
低温CCD:<3e-
全局快门CMOS:5-10e-
像元尺寸
大像元:5.5μm×5.5μm(高灵敏度)
小像元:1.67μm×1.67μm(高空间分辨率)
四、前沿技术发展
堆叠式背照技术
将光电二极管置于电路层上方
量子效率提升至95%以上
事件驱动型传感器
仅记录光强变化像素
降低数据量,提升帧率
量子点增强型
扩展光谱响应范围
实现紫外-可见-红外的宽谱探测
片上集成光谱仪
将滤光片直接集成在探测器表面
典型产品:IMEC的snapshot高光谱传感器

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