FPGA CP测试

一、什么是 FPGA CP 测试

CP 测试 : 在整片晶圆还没切割、没封装时,用探针台 + 自动测试设备(ATE),让探针直接扎在芯片裸片(Die)的焊盘上,对每一颗裸片做电性能筛选测试。

对 FPGA 来说,CP 测试比普通 ASIC 更关键,因为 FPGA 内部有:

  • 海量 SRAM 配置位(Config Bits)
  • 海量可编程开关 / 互联矩阵
  • CLB、BRAM、DSP、高速收发器等密集模块
  • 任何一个核心单元失效,整片 FPGA 就无法正常编程使用。

二、CP 测试的核心目的

1、筛除坏片,避免浪费封装成本

封装成本很高,CP 先把明显坏片标记(ink 打点),直接废弃,不进入封装。

2、监控晶圆厂工艺良率

看同一 Wafer 上哪些位置失效、失效模式是什么,反馈 Fab 调整工艺。

3、初步验证 FPGA 可编程核心是否可用

重点验证 SRAM 配置阵列、I/O、电源、基础逻辑单元。

4、收集器件参数分布

用于后续分级(速度等级:-1/-2/-3、商用 / 工业级)。

三、CP 测试硬件环境

  • 探针台(Prober):移动晶圆,实现逐颗 Die 测试
  • ATE 测试机(Teradyne / Advantest 等):供电、发向量、采集结果
  • 探针卡(Probe Card):FPGA I/O 极多,一般用垂直探针卡 / MEMS 探针卡
  • 温控系统:-40℃ ~ 125℃ 高低温测试
  • Wafer Map:记录每颗 Die 好坏,生成晶圆图

四、FPGA CP 测试核心项目(最重要部分)

FPGA 的 CP 不跑复杂用户逻辑,只测底层硬件可靠性,分为四大类:

1. DC 直流参数测试(必测,筛致命失效)

  • 电源电流测试
    IDD:工作电流
    IDDQ:静态漏电流(FPGA 最重要指标之一)
    漏电偏大 → 内部短路、栅氧缺陷、SRAM 单元异常。
  • I/O 引脚 DC 特性
    输入阈值 VIL/VIH
    输出电平 VOL/VOH
    上 / 下拉电阻
    引脚漏电流、开路 / 短路测试
  • 核心电压域漏电
    检查内核逻辑、SRAM 阵列、互联开关是否漏电。

2. AC 交流 / 时序测试

不做完整时序校准,只做基础功能与时序筛查:

  • 时钟网络连通性、抖动
  • 配置接口(JTAG / SPI)读写时序
  • I/O 翻转速度
  • 关键路径延迟筛查
  • 高速收发器(GTX/GTH/GTY)初步连通性

3. 功能测试(FPGA 重点中的重点)

因为 FPGA 逻辑规模极大,不可能穷举,CP 阶段主要依靠 BIST(Built-in Self Test):

  • CLB 测试:LUT + 触发器功能
  • BRAM / DSP 硬核基本功能
  • JTAG 边界扫描测试(IEEE 1149.1)
  • 全局时钟网络测试

4. FPGA 专属 CP 测试项(与 ASIC 最大区别)

这部分是 FPGA 必须加测的,直接决定芯片能不能 "可编程":

1、SRAM 配置位阵列读写测试

写入数据 → 读出比对 → 检查是否有坏位

FPGA 配置位动辄几百万~几千万,1 个 config bit 失效就可能废掉整片。

2、可编程互联开关连通性测试

测试开关矩阵是否开路 / 粘连。

3、部分可重配置(PR)基础通路检查

4、电压 / 温度边际测试(Margining Test)

电压 ±10% 波动下是否仍能正常配置。

五、典型 CP 测试流程

1、晶圆上料、真空吸附固定

2、温控到目标温度(室温 / 低温 / 高温)

3、探针台移动 → 探针扎入 Die 焊盘

4、ATE 加载测试程序

5、依次执行:DC → AC → BIST → Config 阵列测试

6、判定 Pass/Fail

7、坏片在 Wafer Map 标记,部分产线会喷墨打点(Ink)

8、自动跳到下一颗 Die,重复直到整片晶圆测完

六、CP 测试常见失效模式(FPGA 特有)

  • SRAM 配置单元 stuck-0/stuck-1(最常见)
  • 可编程开关开路 / 短路
  • I/O 焊盘开路或对 GND/VCC 短路
  • 电源轨短路(内核电 / IO 电)
  • 金属互联桥接(FPGA 金属层极多,易发)
  • 时序不满足,无法正常配置

七、CP 与 FT(Final Test)的区别

项目 CP 测试 FT 测试
测试对象 晶圆裸片 已封装成品
测试深度 基础电性能 + 核心 BIST 全功能、全速、全温度、全接口
目的 筛坏片、监控工艺 最终出货质量保证
FPGA 重点 SRAM 配置位、漏电、基础连通 完整编程、高速接口、可靠性
环境 探针接触,易噪声 封装稳定,可做严苛老化

八、FPGA CP 测试的行业关键点

1、SRAM 占比极高,CP 良率对工艺极其敏感

2、高端 FPGA 会内置冗余配置位 / 冗余 CLB,CP 测到小缺陷可自动切换冗余,提升良率

3、CP 数据会用于速度 binning(-1C /-2 /-3 等级)

4、探针卡必须非常稳定,否则会损伤焊盘,影响后续封装

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