质量流量控制器 - 质量流量控制器技术,学习,经验文章

鸿芯微控科技

8 小时前

MFC量程怎么选？最小流量、满量程、调节比与误差计算MFC量程选择不能只让最大工艺流量小于满量程。正确方法是先统一气体、标准状态和流量单位，再用工艺最小流量检查可控下限，用工艺最大流量检查允许上限与必要余量，最后按照具体数据手册的满量程项、读数项、零点项和重复性定义，分别估算整个工作区间的误差边界。