FIB(聚焦离子束)技术简介
1. 基本定义
FIB 是英文"Focused Ion Beam"的缩写,中文名称为"聚焦离子束"。其原理可类比为对芯片进行"手术",主要操作分为"连线"(Line)与"切线"(Cut)。
2. 工作原理
- 设备通过约 5 万伏特的电压加速离子源(通常为镓离子,Ga⁺),使其撞击样品表面产生二次电子。
- 二次电子经影像接收器转化为图像,实现实时观测。
- 配合蚀刻气体(如二氟化氙、溴气)实现"切线"(去除材料),或通过沉积气体(如钨)实现"连线"(连接电路)。
3. 应用背景
芯片的制造流程通常包括:设计 → 线路布局(Layout)→ 光罩制作(Mask)→ 晶圆厂制造(FAB)→ 封装测试。若芯片测试未能达到预期功能,或需调整优化设计,直接重新流片(约需1-2个月)将面临时间与成本的双重风险。
4. 核心价值:设计验证
FIB 可在不重新流片的情况下,直接对现有芯片进行电路修改与功能验证。其优势包括
- :在流片前确认设计修改方案的可行性,避免因设计失误导致上市延迟。
- :减少因重新流片产生的研发成本与时间损耗。
- :缩短产品迭代周期,助力芯片快速上市。
FIB在芯片逆向分析程序解密中也是常用的一种手段。