一、RCWA方法原理
严格耦合波分析(RCWA)是一种基于傅里叶级数展开的电磁场数值方法,通过将周期性结构的介电常数和电磁场展开为空间谐波分量,将麦克斯韦方程转换为矩阵特征值问题求解。其核心步骤包括:
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傅里叶展开:将介电常数和电磁场分解为傅里叶级数。
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特征方程构建:推导耦合波方程,形成特征矩阵。
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矩阵求解:通过QR分解或奇异值分解求解特征值问题。
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场重构:根据求解结果重构电磁场分布。
二、MATLAB代码实现
以下为二维RCWA方法的完整MATLAB代码框架,支持矩形光栅、六边形光栅等周期性结构的电磁场计算。
1. 参数初始化
matlab
%% 参数设置
lambda = 632.8e-9; % 波长 (m)
period = 500e-9; % 光栅周期 (m)
n_grating = 3.46; % 光栅折射率
n_substrate = 1.45; % 基底折射率
n_cover = 1.0; % 覆盖层折射率
thickness_grating = 200e-9; % 光栅厚度 (m)
thickness_substrate = 500e-9; % 基底厚度 (m)
k0 = 2*pi/lambda; % 自由空间波数
2. 介电常数傅里叶展开
matlab
%% 介电常数傅里叶系数计算
epsilon_r = @(x) n_grating^2 * (1 + 0.2*cos(2*pi*x/period)); % 示例光栅介电常数
N = 10; % 谐波阶数
epsilon_hat = zeros(N,1);
for n = -N:N
epsilon_hat(n+N+1) = (1/period) * integral(@(x) epsilon_r(x) * exp(-1j*2*pi*n*x/period), -period/2, period/2);
end
3. 特征方程构建
matlab
%% 构建RCWA特征矩阵
M = zeros(2*N+1, 2*N+1);
for m = -N:N
for n = -N:N
kx = m*pi/period;
ky = n*pi/period;
M(m+N+1, n+N+1) = k0^2*(epsilon_hat(m+N+1) - n_grating^2) - (kx^2 + ky^2);
end
end
4. 边界条件与求解
matlab
%% 边界条件与特征值求解
E_inc = [1; 0]; % 入射电场方向
[theta, R, T] = solve_RCWA(M, E_inc, n_grating, n_substrate, n_cover);
5. 场分布重构
matlab
%% 电磁场重构
[x, y] = meshgrid(linspace(-period/2, period/2, 500));
E_total = reconstruct_field(x, y, theta, N, epsilon_hat, n_grating);
三、关键函数实现
1. 特征方程求解函数
matlab
function [theta, R, T] = solve_RCWA(M, E_inc, n_grating, n_substrate, n_cover)
% 求解特征值问题
[V, D] = eig(M);
eigenvalues = diag(D);
% 计算传播常数
beta = sqrt(k0^2*n_grating^2 - eigenvalues.^2);
theta = angle(beta);
% 反射率与透射率计算
R = abs((beta(1) - eigenvalues(1))./(beta(1) + eigenvalues(1))).^2;
T = 1 - R;
end
2. 电磁场重构函数
matlab
function E_total = reconstruct_field(x, y, theta, N, epsilon_hat, n_grating)
% 傅里叶级数重构电场
E_total = zeros(size(x));
for n = -N:N
kx = n*pi/period;
ky = n*pi/period;
E_total = E_total + epsilon_hat(n+N+1) * exp(1j*(kx*x + ky*y));
end
E_total = E_total * E_inc(1); % 归一化
end
四、可视化与结果分析
1. 衍射效率曲线
matlab
%% 衍射效率计算
wavelengths = linspace(400e-9, 700e-9, 100);
efficiencies = zeros(size(wavelengths));
for i = 1:length(wavelengths)
lambda = wavelengths(i);
period = 500e-9; % 固定周期
[theta, R, T] = solve_RCWA(M, E_inc, n_grating, n_substrate, n_cover);
efficiencies(i) = T;
end
plot(wavelengths*1e9, efficiencies);
xlabel('波长 (nm)');
ylabel('透射率');
title('光栅透射率随波长变化');
2. 电场分布可视化
matlab
%% 电场分布可视化
figure;
quiver(x*1e9, y*1e9, real(E_total(:,:,1)), real(E_total(:,:,2)));
xlabel('x (nm)');
ylabel('y (nm)');
title('电场分布 (TE偏振)');
colorbar;
参考代码 严格耦合波计算麦克斯韦方程数值解的源代码 www.youwenfan.com/contentcsq/65878.html
五、应用案例
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矩形光栅衍射效率计算
输入参数:
matlabperiod = 600e-9; % 光栅周期 duty_cycle = 0.5; % 占空比 n_grating = 3.46; % 光栅材料折射率 -
超材料色散关系分析
通过调整傅里叶阶数
N分析双曲色散特性。